[发明专利]一种用于扫描隧道显微镜的主动式降噪方法及装置

权利要求书

1.一种用于扫描隧道显微镜的主动式降噪方法，该方法具体为：在采谱探针所在的扫描管上同时并列安装一个机械性能相同的探针作为外界噪声采样探针，并将该采样探针设置在反馈闭环状态，工作时，使采样探针与采谱探针同时工作在隧流状态，在处于隧流恒定工作模式中的采样探针保持与样品表面之间距离恒定的同时，使采谱探针与样品表面之间的距离保持恒定。

2.如权利要求1刷述是的用于扫描隧道显微镜的主动式降噪方法，其特征在于，工作时，所述采样探针的反馈信号调制到所述扫描管的Z轴方向驱动信号中，通过扫描管Z轴方向的伸缩，实现与样品表面之间距离的恒定，并同时带动与扫描管锁定的采谱探针保持与样品表面之间距离的恒定。

3.如权利要求1刷述是的用于扫描隧道显微镜的主动式降噪方法，其特征在于，所述采谱探针与采样探针在Z轴方向均可独立驱动，采样探针通过其自身Z轴方向的伸缩，实现与样品表面之间距离的恒定，同时采样探针的反馈信号被提取并调制到采谱探针的Z轴方向驱动信号中，使采谱探针一同保持与样品表面之间距离的恒定。

4.一种权利要求1-3任一所述主动式降噪方法的扫描隧道显微镜，该显微镜包括扫描管，其特征在于，所述扫描管上并列设置有一采谱探针和一外界噪声采样探针，两探针的机械性能相同，其中，采谱探针处于反馈开环状态，采样探针处于反馈闭环状态；扫描管固定两探针一端被沿Z轴方向对称截劈成两部分，两探针分别固定在所述两部分的内壁上。

5.如权利要求4刷述的一种扫描隧道显微镜，其特征在于，所述采谱探针和采样探针均通过磁铁被吸附固定在所述扫描管内壁设置的轨道上，所述轨道均沿扫描管Z轴方向设置。