[发明专利]一种电涡流传感器的数字化动态标定系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种电涡流传感器的动态标定系统，用于对电涡流传感器进行动态测试和标定，特别适用于标定磁轴承系统中对高速转子位移进行非接触测量的电涡流位移传感器的动态频率响应参数，如航天器姿态控制机构磁悬浮飞轮、磁悬浮陀螺用电涡流传感器。

背景技术

电涡流传感器利用涡流效应，使通有高频交流信号的线圈产生交变磁场，置于此交变磁场中的被测导体表面就会产生电涡流，此涡流效应将导致传感器探头线圈的电参数发生改变，配合相应的测量电路即可以对被测体的位移、振动、厚度等等与电参数有关的量进行测量。

磁轴承由于依靠电磁力悬浮转子，所以不存在机械摩擦和磨损，不需要润滑，不存在因磨损和接触疲劳引起的寿命问题，减小了污染和维护，允许转子高速旋转，因此被认为是航天器姿态执行机构的理想支承，用磁轴承代替传统的机械滚珠轴承，可以彻底消除机械摩擦，提高转子的转速，进而提高系统的控制精度，延长姿态控制系统的使用寿命、降低系统功耗。

在磁轴承系统中，需要由位移传感器检测出转子的精确位置，然后将此信息传递给控制系统，再经功率放大器将其转换为控制电流进而控制执行磁铁中的磁力实现对转子的稳定悬浮。磁轴承的结构决定了必须以非接触方式对转子的位移进行检测。由于电涡流位移传感器在结构、频率响应、抗干扰性、成本等方面的优势在磁轴承上获得了广泛的应用。

传感器的动态响应特性用于衡量传感器随着输入量变化快慢的能力，一般用幅值的衰减程度和相位的滞后程度等频域特性指标来表征其动态特性的优劣。任何传感器的响应带宽都是有限的，由于磁悬浮转子可以达到很高的转速，所以对电涡流传感器的动态响应特性要求就很高，这样也就对标定电涡流传感器动态性能的系统提出了更高的要求。现有对电涡流传感器进行动态标定一般使用的是动标器或振动台。动标器是由微电机带动斜面圆盘或者偏心轮旋转以产生频率可调的振动源，而电机带动斜面圆盘或偏心轮旋转一周只能得到一个输入脉冲，又由于此斜面圆盘或偏心轮均是由机械轴承支承，所以旋转速度只能达到几千转/分钟，那么输入给电涡流传感器的信号频率就只有几百赫兹。但对电涡流传感器的动态响应要求为几千赫兹甚至更高时，利用动标器根本无法完成对传感器的动态标定。使用振动台进行动态标定时，利用振动台产生振动源的同时还需要使用一只较待测传感器精度更高的标准电涡流传感器来辅助校准，作为校验外部振动系统的参照标准，所以使整个标定系统的结构复杂，成本增加，与前面提到的动标器的情形类似，这种系统同样也是电机旋转一周只能输出一个脉冲，因此也无法完成动态响应要求几千赫兹及更高的电涡流传感器的动态标定。另外，以上两种方法在数据处理方面，或者是直接利用数字电压表或数字频率表，人为地读取和记录相关数据，最终得到传感器的频率特性曲线；或者是利用单片机或DSP通过RS-232串口进行数据的处理和传输，最终得到频率特性指标。这两种方法对数据的采样频率，数据的传输速度及数据的处理精度都有很大的影响，而且RS-232串口并非通用的串口设备，导致整个系统的通用性和可扩展性都受到限制。

发明内容

本发明的技术解决问题是：克服现有电涡流传感器动态标定系统无法完成动态响应要求在几千赫兹及更高的电涡流传感器的动态标定，且数据分析、处理的数字化程度低，校验过程受人为因素影响较大等不足，提供一种动态标定系统，用于对电涡流传感器进行动态检测和标定，增加了动态标定的频率范围，提高了检测精度和数据处理能力及系统的通用性。

本发明的技术解决方案是：电涡流传感器数字化动态标定系统，其特征在于：包括：电机调速装置、高速电机、磁轴承系统、动态标定盘、待测传感器、光电传感器、A/D转换芯片、脉冲处理电路、电平转换芯片、FPGA芯片、USB总线以及上位机和图像数据输出设备。电机调速装置用于控制高速电机的转速，高速电机和磁轴承系统使动态标定盘悬浮并高速旋转，产生高频激励信号送至待测传感器，待测传感器将此高频激励信号转换为高频电压信号后送至A/D转换芯片，A/D转换芯片对其进行采样并将其转换为数字信号，通过电平转换芯片进行电平转换后送至FPGA芯片；光电传感器感应动态标定盘的基准位置，并将此基准脉冲信号经脉冲处理电路整形和限幅后送到FPGA芯片，FPGA芯片将此脉冲信号作为基准信号来控制A/D转换芯片对待测传感器输出信号进行采样，并将采集到的数据经USB总线传输到上位机，在上位机中对数据进行处理后经图像数据输出设备输出。