[发明专利]将CIF格式多边形切割成PG3600格式矩形的方法

说明书

技术领域

本发明涉及微光刻图形数据格式转换技术领域，尤其涉及一种将CIF格式多边形切割成PG3600格式矩形的方法。

背景技术

由于不同的曝光设备一般都是使用自己专用的图形数据格式，所以必须进行数据格式转换处理。目前保留下来比较多的光学曝光系统仍然是GCA 3600F图形发生器(GCA 3600F Pattern Generator)和GCA 3696分步重复精缩机(GCA 3696 Photo-Repeater)，其使用的PG3600图形数据格式(PG3600 format)是以不同角度的矩形为基本单元来存储数据的。

CIF(Caltech Intermediate Form，加利福尼亚州理工学院中介格式)格式是世界上光掩模制造业常用的数据交换格式之一，其以圆、多边形、矩形和有宽度的线段等四种图形为基本图形单元存储数据。由于它是以文本形式书写，便于修改和编辑，所以在图形数据处理和格式转换过程中，常用它作为中间格式。传统的CIF格式多边形切割成PG3600格式矩形的方法是沿多边形做矩形，遇到锐角会容易出现缺角图形不完整的现象。

为此，我们也采用从CIF到PG3600格式的数据转换方式。首先，在允许图形少量重叠的情况下，将CIF格式中的各种图形切割成PG3600所需要的各种角度的矩形，然后再根据光学图形发生器3600F计算机曝光控制语言要求进行代码转换。

本发明的主要特征是把CIF格式中的凸凹多边形在误差允许的条件下切割成PG3600格式中的矩形，使其切割出的任意多边形图形，尤其是处理凹多边形图形的完整性好，同时切割出的矩形数据量比较少。

发明内容

(一)要解决的技术问题

有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种将CIF格式多边形切割成PG3600格式矩形的方法，以解决任意多边形切割容易出现图形不完整现象的问题，达到提高光掩模版曝光质量的目的。

(二)技术方案

为达到上述目的，本发明提供了一种将CIF格式多边形切割成PG3600格式矩形的方法，该方法包括：

对于独立的非直角三角形，作一个边的高将其切割成两个直角三角形；

对于边数大于或等于四的多边形，过顶点及后续产生的新交点作水平线段和垂直线段把多边形切割为矩形或直角三角形；

对于切割得到的直角三角形，以直角三角形斜边为矩形的一边作矩形包围该直角三角形；

对于不能被包围的直角三角形和独立的直角三角形进行细分切割。

上述方案中，所述对于独立的非直角三角形，作一个边的高将其切割成两个直角三角形的步骤包括：判断所述三角形的形状，如果是钝角三角形，则过钝角顶点作对边的高将其切割为两个直角三角形；如果是锐角三角形，则作任意边的高将其切割为两个直角三角形。

上述方案中，所述对于边数大于或等于四的多边形，过顶点及后续产生的新交点作水平线段和垂直线段把多边形切割为矩形或直角三角形的步骤包括：

A、过多边形的顶点向左和向右分别作射线与多边形相交，如果射线与多边形不相交则不予理会，然后判断顶点和交点之间的线段与多边形的位置，如果该线段在多边内部则保留该线段，否则，放弃该线段；

B、过多边形的顶点和已作水平线段与多边形的交点向上和向下分别作射线，与多边形或已作的水平线段相交且只相交一次，判断该线段是否在多边形内部，如果该线段在多边内部则保留该线段，否则，放弃该线段；

C过新的垂直线段或水平线段与多边形的交点重复执行步骤A和步骤B，将多边形切割成矩形和直角三角形。

上述方案中，所述判断线段是否在多边形内部包括：判断线段的两个端点是否都在多边形内，如果都在多边形内，则继续执行以下的判断步骤；否则，线段不在多边形内部；如果线段和多边形的某条边内交，两线段内交是指两线段相交且交点不在两线段的端点，由于多边形边的左右两侧分属多边形内外不同部分，所以线段一定会有一部分在多边形外，则继续判断线段和多边形的所有边是否都不内交，如果都在多边形内，则继续执行以下的判断步骤；否则，线段不在多边形内部；线段和多边形交于线段的两端点并不会影响线段是否在多边形内，但是如果多边形的某个顶点和线段相交，还必须判断两相邻交点之间的线段是否包含于多边形内部，如果两相邻交点之间的线段包含于多边形内部，则线段在多边形内部；否则，线段不在多边形内部。