[发明专利]自动光学检查系统的示教方法及利用它的检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及自动光学检查系统，更具体地，涉及自动光学检查系 统的示教方法及利用它的检查方法。

背景技术

随着半导体器件小型化、轻量化，使用较多的薄膜(film)、带(tape) 型的挠性印刷电路板。挠性印刷电路板例如有TAB(Tape Automatic Bonding，即，载带自动焊)、COF(Chip On Film)等，用作液晶显 示装置的驱动集成电路、存储器等的印刷电路板。

这样的挠性印刷电路板10如图1所示，做成连续形成有具有电路 图案的单元12的薄膜、带形状。在检查时，挠性印刷电路板10为了 在检查时传送，在上下两端以一定间距具有索引孔14。索引孔14是由 称作PF(Perforation hole)孔或IP孔(Index perforation hole)(以下 称为IP孔)相咬合而形成的。各自的相邻的IP孔14和IP孔14之间 的间隔16为4.75mm，是本领域的共同规格，将相邻的IP孔和IP孔之 间的间隔定义为1节距(pitch)。

因此，在本领域中制造产品时，根据使用目的来决定节距大小， 并决定一个单元(产品)的大小。例如，若将6节距做成一个单元， 在薄膜上IP孔的每6节距的大小形成一个单元，在该大小的单元内形 成各种电路图案。然后，以这样的IP孔为基准，到制造成品为止，利 用与该IP孔啮合旋转的锯齿形状的装置来传送薄膜，或在检查时以IP 孔的6节距为一个单元进行检查，判断相应单元的合格与否。

一般，利用自动光学检查系统来检查挠性印刷电路板10的外观。 对于半导体器件制造用挠性印刷电路板的生产企业来说，检查印刷电 路板的合格或不合格的检查过程非常重要。例如，在印刷电路板的图 案内产生短路、突起、凹陷等的各种缺陷，而使印刷电路板不能使用， 因此，有效的检查成为生产性及品质管理的主要原因。

利用光学自动检查系统对连续的挠性印刷电路板进行光学检查 时，在检查前进行设定环境信息的示教(teaching)作业。示教作业表 示设定检查对象物的检查区域或设定检查规格等设定检查环境的各种 作业。例如，示教作业设定包括要检查的图案的空间等的检查区域， 或者设定包括用于判别印刷电路板单元的合格与否的基准数据等检查 规格。因此，自动光学检查系统在检查时按设定的检查区域单位进行 检查，根据与设计规格相比有多大的数据差异来判别合格与否。

参照图2及图3，现有的自动光学检查系统2以一个单元12为产 品大小单位来进行光学检查，在产品的大小比摄像机6的视场大的情 况下，分割产品大小来进行检查。例如，摄像机6的镜头视场是25mm 的情况下，一次最大摄像范围可以检查到5节距。但是，当检查对象 物是具有6节距以上的产品大小的单元12时，控制部4进行示教作业 处理，以便通过分两次检查来获取各影像数据16、18。这时，摄像机 6按一次3节距(即，3IP)的大小8来进行检查，因此产生2节距被 重复检查的现像，从而存在效率下降的问题。

其他例子，在以最大视场来拍摄一个单元12的情况下，第一次拍 摄5节距，第二次拍摄下一5节距，则第二次的第一节距有效，但是 与剩余4节距对应的影像数据是下一单元的影像数据，由于在下一单 元的拍摄时重新从第一节距开始拍摄，所以不需要它。

并且，如图3所示，在示教时对一个产品区域分两次设定各检查 环境，所以需要分别存储管理分为两次的、前半部16及后半部18的 数据。其结果，在示教及检查时控制部4的存储器的使用量增加、实 际示教时间增加，此外示教及检查速度降低。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种用于有效地处理挠性印刷电路板的 外观检查的自动光学检查系统的示教方法。

本发明的另一目的在于，提供一种应用自动光学检查系统的示教 方法的检查方法，该自动光学检查系统的示教方法有效地处理挠性印 刷电路板的外观检查。

本发明的再一目的在于，提供如下的方法：在进行挠性印刷电路 板的外观检查的自动光学检查系统中，与印刷电路板的大小及种类无 关地分为均匀的大小来进行示教及检查。

为了实现上述目的的本发明的自动光学检查系统的示教方法，其 特征之一是，将印刷电路板单元的主数据分为均匀的大小来登记多个 细部检查区域。这样的示教方法能够与印刷电路板的大小无关地迅速 示教。