[发明专利]光刻设备与器件制造方法

权利要求书

1.一种组装物体的方法，包括如下步骤：

提供具有第一表面的第一物体部分；

提供具有第二表面的第二物体部分；

将所述第一物体部分和所述第二物体部分定位，以使所述第一表面和所述第二表面彼此面对，其中，在所述第一表面和所述第二表面之间限定间隙；

将粘接剂施加于所述间隙的至少一部分上，

使所述第一物体部分和所述第二物体部分在一段时间内保持一定距离，其中，由于毛细管作用和/或重力而使所述间隙基本填满所述粘接剂；以及

使所述第一物体部分和所述第二物体部分彼此相对移动，以减少所述第一表面和所述第二表面之间的距离。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述第一物体部分和/或所述第二物体部分由具有低热膨胀系数的材料制成。

3.如权利要求1所述的方法，其中，所述间隙具有至少10μm的宽度。

4.如权利要求3所述的方法，其中所述间隙具有15-25μm的宽度。

5.如权利要求1所述的方法，其中，使所述第一物体部分和所述第二物体部分彼此相对移动后得到的距离是1-8μm。

6.如权利要求5所述的方法，其中，所述得到的距离是2-6μm。

7.如权利要求1所述的方法，其中，用隔片来定位所述第一表面和第二表面并使之保持一定距离。

8.如权利要求1所述的方法，其中，在使所述第一物体部分和所述第二物体部分彼此相对移动前所述隔片被取走，并在取走所述隔片后用粘接剂填满其余的空间。

9.如权利要求1所述的方法，其中，在所述第一表面和所述第二表面之间施加连续的粘接剂膜。

10.如权利要求1所述的方法，其中，所述第一物体部分是可移动物体，所述第二物体部分是配置成测量所述可移动物体的位置量的测量系统的一部分。

11.一种实现测量可移动物体的位置量的测量系统的方法，所述方法包括如下步骤：

将所述测量系统的第一部件安装在基本静止的框架上，以及

用权利要求1所述的方法将所述测量系统的第二部件连接到所述可移动物体上，所述第一物体部分是所述可移动物体，所述第二物体部分是所述第二部件。

12.如权利要求11所述的方法，其中，所述可移动物体是掩模原版吸盘体和晶片吸盘体这二者之一。

13.如权利要求11所述的方法，其中，所述测量系统是编码器测量系统，所述第一部件是编码器头，所述第二部件是编码器网格标尺。

14.一种制造掩模原版台或晶片台的方法，所述掩模原版台或晶片台包含用权利要求1所述的方法相互连接的第一物体部分和第二物体部分。

15.如权利要求14所述的方法，所述第一物体部分是底部，所述第二物体部分是所述掩模原版台的顶部。

16.一种制造掩模原版台或晶片台的方法，包括用权利要求1所述的方法将测量系统的部件分别连接到掩模原版台主体或晶片台主体上的步骤，所述第一物体部分是所述可移动物体，所述第二物体部分是所述部件。

17.一种物体，包含第一物体部分和第二物体部分，所述第一物体部分和所述第二物体部分由具有低热膨胀系数的材料制成，且在所述第一物体部分的第一表面和所述第二物体部分的第二表面上由基本覆盖所述第一表面和/或所述第二表面的粘接剂膜相互连接，所述粘接剂膜具有1-8μm的厚度。

18.如权利要求17所述的物体，其中，所述粘接剂膜具有2-6μm的厚度。

19.如权利要求18所述的物体，其中，所述粘接剂膜具有2-4μm的厚度。

20.如权利要求17所述的物体，其中，所述第一物体部分和所述第二物体部分仅由所述粘接剂膜相互连接。

21.如权利要求17所述的物体，其中，所述连续粘接剂膜基本上遍布所述第一表面和所述第二表面的表面面积。

22.如权利要求17所述的物体，其中，所述粘接剂是选自双酚A和双酚F类的环氧树脂。