[发明专利]多齿β－酮亚胺盐的金属络合物

权利要求书

1.一种含金属的络合物，作为化学气相沉积或原子层沉积的前体，其由选自以下A、B和C的结构表示：

其中M为2-5价的金属基团，其中R¹选自具有1-10个碳原子的烷基；R²选自氢和烷基；R³选自烷基；R⁴为C_2-3亚烷基桥；R^5-6独立地选自烷基；n为等于金属M的化合价的整数；

其中M为选自钛、锆、铪、钒、铌和钽的金属离子；其中R¹选自具有1-10个碳原子的烷基；R²选自氢和烷基；R³选自烷基；R⁴为C_2-3亚烷基桥；R^5-6独立地选自烷基；R⁷选自烷基；并且其中m和n至少为1，并且m和n的和等于金属M的化合价；和

其中M为碱土金属，其中R¹选自具有1-10个碳原子的烷基；R^2-3独立地选自氢和烷基；R^4-5独立地为C_2-3亚烷基桥；R^6-7独立地选自烷基；并且X为氧或者被氢或烷基取代的氮。

2.权利要求1的含金属的络合物，由所述结构A表示，其中M选自钙、锶、钡、钪、钇、镧、钛、锆、钒、钨、锰、钴、铁、镍、钌、锌、铜、钯、铂、铱、铼和锇。

3.权利要求2的含金属的络合物，其中M选自钙、锶和钡。

4.权利要求3的含金属的络合物，其中R¹选自叔丁基和叔戊基，R²为氢，R³选自甲基和乙基，R⁴为C₂亚烷基桥，并且R⁵和R⁶独立地选自甲基和乙基。

5.权利要求3的含金属的络合物，其中M为锶，R¹为叔丁基，R²为氢，R³为甲基，R⁴为C₂亚烷基桥，并且R⁵和R⁶为甲基。

6.权利要求3的含金属的络合物，其中M为锶，R¹为叔丁基，R²为氢， R³为甲基，R⁴为C₂亚烷基桥，并且R⁵和R⁶为乙基。

7.权利要求2的含金属的络合物，其中M选自铁、钴和镍。

8.权利要求7的含金属的络合物，其中R¹选自C_1-6烷基，R²为氢，R³选自甲基和乙基，R⁴为C_2-3亚烷基桥，并且R⁵和R⁶独立地选自甲基和乙基。

9.权利要求7的含金属的络合物，其中M为钴，R¹为甲基，R²为氢，R³为甲基，R⁴为C₂亚烷基桥，并且R⁵和R⁶为甲基。

10.权利要求7的含金属的络合物，其中M为钴，R¹为叔丁基，R²为氢，R³为甲基，R⁴为C₂亚烷基桥，并且R⁵和R⁶为甲基。

11.权利要求7的含金属的络合物，其中M为钴，R¹为甲基，R²为氢，R³为甲基，R⁴为C₃亚烷基桥，并且R⁵和R⁶为甲基。