[发明专利]研浆分配系统及研浆供给方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种研浆分配系统，特别涉及一种具有双回路而在清洗期间无须停机的研浆分配系统，并且，本发明还涉及一种研浆供给方法。

背景技术

图1表示一种公知的研浆供给系统，其包括一供给单元100、一研浆回路A以及一研浆回路B。研浆供给单元100包括一供给站A以及一供给站B。供给站A与供给站B具有相同的结构。供给站A包括一供给槽10、一泵20以及阀体30、40及50。供给站A与供给站B由回路A串联。回路B经由阀体140与240连接至回路A。由于化学研磨时会消耗研浆，在供给站A供给一段时间之后，研浆的供给会切换至供给站B，由此供给站A可以补充新的研浆。当研浆由供给站A供给时，供给站A的阀体30、40以及供给站B的阀体50’是打开的。在回路A中流动的研浆，通过打开阀体120与220，经由压力控制单元200被供给至多个使用点500(图1仅示出一个)。当回路A需要做维护时，例如需要做清洗时，关闭阀体120与220且打开阀体240，由此研浆得以在回路B中流动。直到回路B中流动的研浆达到一稳定状态时，才打开阀体140，在正常的情况下，流动的研浆需要几个小时甚至一天才能达到稳定的状态，此时使用点500必须空转或等待，这样会降低生产的效率。

发明内容

有鉴于公知技术中存在的上述问题，本发明的目的在于提供一种在进行系统维护时也可以继续给使用点提供研浆的研浆分配系统。

本发明的研浆分配系统的一较佳实施例包括一第一供给站、一第二供给站、一第一回路、一第二回路、一第一阀装置以及一第二阀装置。第一回路选择性地连接于第一供给站及第二供给站，第二回路选择性地连接于第一供给站及第二供给站，第一阀装置将第一回路连接于多个使用点，第二阀装置将该第二回路连接于多个使用点。当研浆从第一供给站被供给至第一回路时，研浆从第二供给站被供给至第二回路。当研浆从第一供给站供给至第二回路时，研浆从第二供给站被供给至第一回路。当打开第一阀装置时，研浆从第一回路被供给至所述使用点，当打开第二阀装置时，研浆从第二回路被供给至所述使用点。

在上述较佳实施例中，第一供给站包括：一第一槽、一第一泵以及一第一阀模块，第一槽用于储存研浆，第一泵连接于第一槽，研浆由该第一泵驱动而从该第一槽通过该第一阀模块，该第一阀模块控制研浆进入该第一回路或该第二回路。

在上述较佳实施例中，第一阀模块包括一第一阀体、一第二阀体、一第三阀体、一第四阀体、一第五体阀以及一第六阀体。第一阀体连接第一槽与第一回路，第二阀体连接第一泵与第一回路，第三阀体连接第一阀体以及第二阀体，第四阀体连接第一槽与第二回路，第五体阀连接第一泵与第二回路，第六阀体连接第四阀体以及第五阀体。当打开第一阀体与第二阀体且关闭第三阀体时，研浆由第一泵驱动从第一槽进入第一回路。当关闭第一阀体与第二阀体且打开第三阀体时，研浆从外部通过第一供给站，当打开第四阀体与第五阀体且关闭第六阀体时，研浆由第一泵驱动从第一槽进入第二回路。当关闭第四阀体与第五阀体且打开第六阀体时，研浆从外部通过第一供给站。

在上述较佳实施例中，该第二供给站包括：一第二槽、一第二泵以及一第二阀模块。第二槽用于储存研浆，第二泵连接于第二槽。研浆由第二泵驱动而从第二槽通过第二阀模块，第二阀模块控制研浆进入第一回路或第二回路。

在上述较佳实施例中，该第二阀模块包括：一第七阀体、一第八阀体、一第九阀体、一第十阀体、一第十一阀体以及一第十二阀体，第七阀体连接第二槽与第一回路，第八阀体连接第二泵与第一回路，第九阀体连接第七阀体以及第八阀体，第十阀体连接第二槽与第二回路，第十一阀体连接第二泵与第二回路，第十二阀体连接第十阀体与第十一阀体。当打开第七阀体与第八阀体且关闭第九阀体时，研浆由第二泵驱动从第二槽进入第一回路。当关闭第七阀体与第八阀体且打开第九阀体时，研浆从外部通过第二供给站，当打开第十阀体与第十一阀体且关闭第十二阀体时，研浆由第二泵驱动从第二槽进入第二回路。当关闭第十阀体与第十一阀体且打开第十二阀体时，研浆从外部通过第二供给站。

上述的较佳实施例还包括一清洗槽，清洗槽装有清洗液，并连接至第一回路或第二回路。当第一回路或第二回路的研浆被清空时，清洗液被供给至第一回路或第二回路。

为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举一较佳实施例，并配合所附图示作详细说明如下：

附图说明

图1为公知的研浆分配系统。

图2、图3、图4为本发明的研浆分配系统的示意图。