[发明专利]多晶硅锭制造装置

权利要求书

1.一种多晶硅锭制造装置，其特征在于包含：

用于使硅熔融的坩埚；

设在贴附于所述坩埚下部的支撑台的角落并用于调节所述坩埚高度的移 送轴；

用于加热所述坩埚的加热器；

位于所述坩埚下部而用于冷却所述坩埚的冷却板。

2.根据权利要求1所述的多晶硅锭制造装置，其特征在于所述加热器设 在所述坩埚周围。

3.根据权利要求2所述的多晶硅锭制造装置，其特征在于位于所述坩埚 下部的加热器形成为多个，并可以水平移动。

4.根据权利要求3所述的多晶硅锭制造装置，其特征在于在所述冷却板 内部利用流体制冷剂。

5.根据权利要求4所述的多晶硅锭制造装置，其特征在于所述硅锭制造 装置设在可以利用泵形成真空环境的工艺室内部。

6.根据权利要求5所述的多晶硅锭制造装置，其特征在于在所述工艺室 壁面内部形成用于流动冷却水的管路。

7.根据权利要求6所述的多晶硅锭制造装置，其特征在于所述加热器周 围包含用来防止热量损失的多个隔热板。

8.根据权利要求7所述的多晶硅锭制造装置，其特征在于位于所述坩埚 下部的所述隔热板形成为多个，并可以水平移动。