[发明专利]指点装置有效
| 申请号： | 200710108499.8 | 申请日： | 2007-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN101093428A | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 板垣信孝 | 申请（专利权）人： | 安华高科技ECBUIP（新加坡）私人有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/033 | 分类号： | G06F3/033;G06F3/038 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 指点 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种指点装置，包括：
光源，用于提供入射光，所述入射光以预定入射角照射板的正面，所述板具有所述正面和背面并且对所述入射光的波长透明；
孔径部件，具有开口，来自所述正面的散斑光和来自所述背面的散斑光穿过所述开口，所述散斑光由所述入射光造成；以及
检测器，用于对穿过所述开口的所述散斑光的强度进行检测；
其中，所述开口具有沿形成所述入射角的方向的纵向尺度，使得来自所述正面的散斑光和来自所述背面的散斑光在所述检测器处彼此重叠。
2.根据权利要求1所述的指点装置，其中，所述开口具有矩形形状或狭缝形状。
3.根据权利要求1或2所述的指点装置，还包括透镜，用于使来自所述光源的所述入射光会聚或发散。
4.根据权利要求1到3中任意一项所述的指点装置，其中，所述光源包括激光光源。
5.根据权利要求4所述的指点装置，其中，所述激光光源包括垂直腔面发射激光器。
6.根据权利要求1到5中任意一项所述的指点装置，还包括位于所述孔径部件与所述板之间的光学滤波器或透镜。
7.根据权利要求1所述的指点装置，其中，所述装置还可以检测来自对所述入射光的波长不透明的板的表面的光。
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