[发明专利]烘干装置无效
| 申请号： | 200710107382.8 | 申请日： | 2007-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN101082463A | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 金相吉 | 申请（专利权）人： | 株式会社细美事 |
| 主分类号： | F26B3/00 | 分类号： | F26B3/00;F26B25/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高翔 |
| 地址： | 韩国忠清南*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 烘干 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种烘干装置，该装置包括：
基板加热部；
基板冷却部；和
把基板投入到上述基板加热部及/或上述基板冷却部并回收的第一基板搬运机器；
其中，上述基板加热部、上述第一基板搬运机器及上述基板冷却部按L字形设置。
2.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于：还包括以上述基板冷却部为中心，设在上述第一基板搬运机器相反侧的第二基板搬运机器；及设在上述第二基板搬运机器一侧的缓冲部；上述第二基板搬运机器把上述基板投入到上述基板冷却部及/或上述缓冲部并回收。
3.根据权利要求2所述的烘干装置，其特征在于上述基板冷却部、上述第二基板搬运机器及上述缓冲部按L字形设置。
4.根据权利要求1-3中任意一项所述的烘干装置，其特征在于上述第一基板搬运器和上述第二基板搬运机器固定在底面上，并可以在水平面上至少旋转180°以上。
5.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于：上述基板加热部及上述基板冷却部的邻接区域内包括维修及/或检验上述基板冷却部和上述基板加热部的保修部。
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