[发明专利]机台预约方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种机台预约方法，且特别是涉及一种预约用以处理特殊批货所需要的机台的机台预约方法。

背景技术

随着半导体产业的竞争日趋激烈，为了缩短生产时间以增加公司营收，如何更有效地管理芯片厂内的各式机台、避免堆货情况产生进而使各个机台发挥最大的产能，对于现今的半导体业者来说无疑是最重要的课题之一。以目前处理批货(Lot)的流程为例，当在制品(Wafer-In Process，WIP)到达芯片厂内的各个站点时，必须等待站点中的机台闲置后才能开始进行批货处理。

然而，对于一批具有较高等级，且必须快速知道处理过程及结果的在制品来说，为了降低在各个站点等待机台闲置以供处理批货的时间，现行的作法是必须通过人为操作来设定系统，进而让此在制品所需要的机台预先闲置下来等待在制品到站。当在制品到站后，同样必须再以人为操作的方式将机台切换回可以处理批货的状态，接着再进行批货处理流程。

由上所述不难发现，为了因应特殊批货的处理需求，必须以人工的方式操作部份机台预先进入闲置状态以等待在制品到站。然而，价格动辄数百万的机台一旦闲置下来不仅会影响一般批货的生产计划，同时更会降低机台本身的产能，进而造成公司莫大的损失。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种机台预约方法，能事先预约处理特殊批货所需要的机台，据以减少处理特殊批货所需要的时间。

本发明提出一种机台预约方法，此方法包括下列步骤：首先根据历史记录计算特殊批货在每个站点的处理时间及相邻站点之间的传送时间。接着，依据处理时间及传送时间，预测特殊批货到达每个站点的到站时间。对于每个站点，再以对应的到站时间与站点中每个机台的机台状态，计算每个机台的占用率。最后根据占用率来预约机台。

依照本发明的较佳实施例所述的机台预约方法，其中，历史记录包括每个机台每次处理批货的处理周期及生产周期，而计算特殊批货在每个站点的处理时间包括根据站点的每个机台的处理周期及生产周期来计算处理时间。

依照本发明的较佳实施例所述的机台预约方法，其中，计算特殊批货在相邻站点之间的传送时间的步骤包括根据传送机制及传送速率计算传送时间。

依照本发明的较佳实施例所述的机台预约方法，其中，预测特殊批货到达每个站点的到站时间的步骤包括对于每个站点，以位于站点上游的所有站点的处理时间，以及位于站点上游的所有相邻站点之间的传送时间的总和做为到站时间。

依照本发明的较佳实施例所述的机台预约方法，其中，在预测特殊批货到达每个站点的到站时间的步骤之后更包括判断到站时间是否小于最长预约时间。

依照本发明的较佳实施例所述的机台预约方法，其中，历史记录包括每个机台每次处理批货的处理周期及生产周期，而计算每个机台的占用率的步骤包括判断机台状态为处理状态，并根据到站时间、剩余处理时间，及机台的上述生产周期的平均值来计算占用率。其中，以机台的处理周期及目前时间来计算剩余处理时间，并计算占用率＝(Arrival_T-Remained_T)/Avg_TC，而Arrival_T为到站时间，Remained_T为剩余处理时间，Avg_TC为生产周期的平均值。

依照本发明的较佳实施例所述的机台预约方法，其中，历史记录包括每个机台每次处理批货的处理周期及生产周期，而计算每个机台发占用率的步骤包括判断机台状态为闲置状态，并根据到站时间、机台发上述处理周期的最大值，及机台的上述生产周期的平均值来计算占用率。其中，计算占用率＝(Arrival_T Max_TM)/Avg_TC，Arrival_T为到站时间，Max_TM为处理周期的最大值，而Avg_TC为生产周期的平均值。

依照本发明的较佳实施例所述发机台预约方法，其中，根据占用率预约机台的步骤包括预约具有最小的占用率，且占用率小于1的机台。

依照本发明的较佳实施例所述的机台预约方法，其中，根据占用率预约机台的步骤更包括根据每个机台的机台特性来预约机台。

依照本发明的较佳实施例所述的机台预约方法，其中，在预约机台的步骤之后更包括当特殊批货到达站点时，以预约的机台处理特殊批货，并将预约的机台处理特殊批货的处理周期及生产周期记录于历史记录。

本发明根据历史记录预测特殊批货到达站点的时间，并同时根据此到站时间以及站点中各个机台的状态，来预约适于处理特殊批货的机台，从而避免特殊批货到达站点后必须等待需要的机台闲置所耗费的时间，据以达到缩短特殊批货的生产周期的目的。