[发明专利]设备、膜形成方法及设备的制造方法

权利要求书

1.一种有机EL元件，

具备：

隔壁；

膜，设置在由所述隔壁区划出的区域，包括空穴注入/输送层和发光层； 和

在由所述隔壁区划出的区域的外周部部分地除去所述隔壁的槽，

所述槽形成为环状，

所述膜设置为与所述槽相重叠，

所述隔壁包括对液体材料具有亲液性的亲液层即第一隔壁层、和对所 述液体材料具有疏液性的疏液层即第二隔壁层，

所述第一隔壁层的厚度与所述空穴注入/输送层的厚度相同。

2.根据权利要求1所述的有机EL元件，其特征在于，

所述槽的深度根据离所述隔壁的距离而不同。

3.一种膜形成方法，在由隔壁区划出的区域配置包括功能性材料的 液体材料并形成包括空穴注入/输送层和发光层的所述功能性材料的膜，

包括：

在由所述隔壁区划出的区域的外周部部分地除去所述隔壁来形成槽 的工序；

在由所述隔壁区划出的区域配置液体材料的工序；和

将所述液体材料进行干燥，以与所述槽重叠的方式形成所述膜的工 序，

所述槽朝向隔壁的外周侧变深，

所述隔壁包括对所述液体材料具有亲液性的亲液层即第一隔壁层、和 对所述液体材料具有疏液性的疏液层即第二隔壁层，

所述第一隔壁层的厚度与所述空穴注入/输送层的厚度相同。

4.根据权利要求3所述的膜形成方法，其特征在于，

所述槽由与形成所述隔壁的工序相同的工序来形成。

5.根据权利要求3或4所述的膜形成方法，其特征在于，

在进行配置所述液体材料的工序时，在所述隔壁的表面形成对所述液 体材料具有亲液性的亲液区域。

6.根据权利要求5所述的膜形成方法，其特征在于，

所述隔壁包括对所述液体材料具有亲液性的亲液层、和对所述液体材 料具有疏液性的疏液层，由在所述隔壁的表面露出的所述亲液层来形成所 述亲液区域。

7.根据权利要求6所述的膜形成方法，其特征在于，

所述隔壁的形成工序包括：

形成所述亲液层的工序；

在所述亲液层上形成所述疏液层的工序；

对所述疏液层图案化的工序；和

将所述疏液层作为掩模来对所述亲液层图案化的工序。

8.根据权利要求6或7所述的膜形成方法，其特征在于，

所述亲液层的厚度与成为对象的膜的厚度相等。

9.一种有机EL元件的制造方法，具有在由隔壁区划出的区域配置液 体材料而形成膜的工序，

形成所述膜的工序通过权利要求3～8中任一项所述的膜形成方法来 进行。

10.根据权利要求9所述的有机EL元件的制造方法，其特征在于，

所述有机EL元件在所述电极上具备包括空穴注入/输送层和发光层的 膜，

形成所述膜的工序包括：

在由所述隔壁区划出的区域配置含有所述空穴注入/输送层的形成材 料的液体材料，而形成所述空穴注入/输送层的工序；和

在所述空穴注入/输送层上配置含有所述发光层的形成材料的液体材 料，而形成所述发光层的工序。