[发明专利]大面积基板的干燥装置及方法

权利要求书

1、一种大面积基板干燥装置，包含：

通过喷射干燥空气对被移送的大面积基板进行干燥的风刀；

薄雾清除部，以用于向大面积基板上均匀地垂直喷射与供应到所述风刀的干燥空气相同或具有更低露点的干燥空气，而且其喷射面积大于所述风刀的喷射面积。

2、根据权利要求1所述的大面积基板干燥装置，其特征在于所述薄雾清除部在底面包含相对于大面积基板的移送方向至少设置为两列的均匀布置并大小均匀的多个喷射口。

3、根据权利要求2所述的大面积基板干燥装置，其特征在于所述薄雾清除部满足下述数学式1的压力条件，

数学式1

P1＞P2＞P3

所述P1是供应到薄雾清除部的干燥空气压力，P2是薄雾清除部内的干燥空气压力，P3是通过薄雾清除部的喷射口喷射的干燥空气压力。

4、根据权利要求2或3所述的大面积基板干燥装置，其特征在于所述薄雾清除部的设有所述喷射口的底面与被移送的大面积基板之间间距保持1mm至3mm。

5、根据权利要求4所述的大面积基板干燥装置，其特征在于所述薄雾清除部与大面积基板之间的间距和喷射口的整体面积满足下述数学式2，

数学式2

Hπr²＞Ld

所述H是设在薄雾清除部的喷射口数量，r是该喷射口的半径，L是薄雾清除部的底面周长，d是大面积基板与薄雾清除部底面之间的间距。

6、根据权利要求2所述的大面积基板干燥装置，其特征在于所述薄雾清除部还包含围住喷射到其底面部的干燥空气而对大面积基板表面进行干燥的干燥室。

7、根据权利要求6所述的大面积基板干燥装置，其特征在于所述干燥室由从所述薄雾清除部底面的各边缘向下延长的隔壁构成。

8、根据权利要求7所述的大面积基板干燥装置，其特征在于所述干燥室与被移送的大面积基板之间的间距保持1mm至3mm。

9、根据权利要求8所述的大面积基板干燥装置，其特征在于喷射口整体面积相对于所述干燥室与大面积基板之间的间距满足下述数学式3，

数学式3

Hπr²＞Ld′

所述H是设在薄雾清除部的喷射口数量，r是该喷射口的半径，L是干燥室的底面周长，d′是大面积基板与干燥室底面之间的间距。

10、一种大面积基板干燥方法，包含步骤：

(a)利用风刀所喷射的干燥空气对需要进行干燥的大面积基板进行一次干燥；

(b)在比所述风刀喷射面积更大的面积上均匀地垂直喷射干燥空气而清除大面积基板的薄雾。

11、根据权利要求10所述的大面积基板干燥方法，其特征在于在所述(b)步骤中利用相对于大面积基板的移送方向至少设置为两列的均匀布置并大小均匀的喷射口喷射与供应到所述风刀的干燥空气相同或具有更低露点的干燥空气。

12、根据权利要求11所述的大面积基板干燥方法，其特征在于向所述大面积基板供应干燥空气的喷射口面积和其喷射口位置与大面积基板之间的缝隙面积满足下述数学式4，

数学式4

Asup＞Aexh

所述Asup是喷射口的面积总和，Aexh是大面积基板与喷射口所处的平面之间的缝隙面积总和。

13、根据权利要求10或11所述的大面积基板干燥方法，其特征在于在所述(b)步骤中构成围住所喷射的干燥空气使其接触被移送的大面积基板表面的干燥室，并通过使该干燥室内的干燥空气产生涡流并循环，从经过该干燥室下部的大面积基板清除薄雾。

14、根据权利要求13所述的大面积基板干燥方法，其特征在于向所述干燥室供应干燥空气的喷射口面积和该干燥室底面与大面积基板之间缝隙面积满足下述数学式5，

数学式5

Asup＞Aexh′

所述Asup是喷射口的面积总和，Aexh′是大面积基板与干燥室底面的平面之间的缝隙面积总和。