[发明专利]液体输送装置及其制造方法

说明书

本申请是申请日为2004年9月28日、发明名称为“液体输送装置及其制造方法”且申请号为200410012067.3的中国发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明总体上涉及液体输送装置及其制造方法。特别地，本发明涉及利用压电材料的液体输送装置及制造这种装置的方法。

背景技术

诸如喷墨记录头的液体输送装置是已知的，其包括其中形成有多个压力室的流动通道单元；构成每个压力室的壁的一部分的振动板；以及叠放在振动板上的压电材料层，以便振动该振动板，以使压力室中的液体从分别与压力室连通的喷嘴中喷出。电极叠放在该压电材料层上面以向该压电材料层施加电场。每个电极经诸如FBC(柔性印刷电路)或引线端子的接线部件连接于(驱动IC)，该驱动电路与流动通道单元分开设置并具有产生用于致动该压电材料层的致动信号的功能。这样的液体输送装置公开在例如与日本专利JP-A-8-258274相应的美国专利6,471,341中。

然而，在如上所述的诸如FBC或引线端子的接线部件设置在形成于该压电材料层的电极和外部驱动电路之间的情况下，元件的成本和元件连接过程所需要的成本增加，因此不可避免地增加装置的制造成本。而且，常规的装置需要空间用来放置使电极和驱动电路相互连接的诸如FBC或引线端子的接线部件，因此这种装置往往具有较大的尺寸。

发明内容

因此，本发明的第一个目的是提供一种液体输送装置，其确保简化在压电材料层和驱动电路之间的接线结构。

本发明的第二个目的是提供制造该液体输送装置的方法。

根据本发明，一种液体输送装置，包括：流动通道单元，其包括开口和容纳液体并与开口连通的压力室；振动板，该振动板部分地形成压力室，并包括从流动通道单元一侧边延伸的延伸部分；叠放在振动板上的压电材料层，并且当向压电材料层施加电场时压电材料层变形，从而振动振动板，以通过开口从压力室输送液体；以及向压电材料层施加电场的电极图形和驱动电路，液体输送装置的特征在于振动板由电绝缘材料形成，并且驱动电路直接或间接地安装在振动板的延伸部分上，液体输送装置还包括：电极；和用于将电极和驱动电路相互连接的电极连接部分，液体输送装置构造成使得：在振动板的与流动通道单元重叠的区域处，电极图形的一部分和电极中的一个叠放在振动板上，压电材料层叠放在振动板上，其中电极图形的该部分和电极中的所述一个设置在振动板和压电材料层之间，并且电极图形的该部分和电极中的另一个叠放在压电材料层上，液体输送装置构造成使得：在振动板的与延伸部分对应的区域处，电极图形的其它部分和电极连接部分叠放在振动板上，并且液体输送装置构造成使得电场施加在电极图形和电极之间。

至少上面指出的第一目的可以根据本发明的第一方面实现，其提供一种液体输送装置，包括：流动通道单元，其包括开口和容纳液体并与开口连通的压力室；振动板，该振动板部分地形成压力室，并包括从流动通道单元一侧边延伸的延伸部分；直接或间接叠放在振动板上的压电材料层，并且当向压电材料层施加电场时压电材料层变形，从而振动振动板，以通过开口从压力室输送液体；以及向压电材料层施加电场的电极图形和驱动电路。电极图形直接或间接地设置在振动板上，并且驱动电路直接或间接地安装在振动板的延伸部分上，并且液体输送装置还包括设置在驱动电路附近的散热部件。

在如上所述构造的液体输送装置中，向压电材料层施加电场的驱动电路和电极图形直接或间接地设置在该振动板上，该电极图形和驱动电路之间的接线结构可以简化。换句话说，本装置取消了常规用来连接形成在该压电材料层上的电极和驱动电路的诸如FPC或引线端子的接线部件，由此例如降低元件成本和元件连接过程所需要的成本。此外，本装置不需要放置用来连接电极和驱动电路的诸如FPC或引线端子的接线部件的空间，因此可以减小装置的尺寸。