[发明专利]减压容器、减压处理装置以及减压容器的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及减压容器(也包括真空容器，以下同)的密封技术，例如，对以液晶显示装置(LCD)或等离子体显示器等为代表的平板显示器(FPD)用的玻璃基板等，在减压下进行干法蚀刻或成膜、搬送、定位等处理时使用的减压容器的密封技术。

背景技术

现有技术的真空容器，从确保对大气压的耐久性和气密性的观点出发，采用了通过机械加工从原料块体削出容器的方法、或者通过焊接或钎焊接合板材的方法来制造真空容器。但是，通过机械进行切削加工时，由于从材料切削出相当于容积大小的量，因而存在加工时间长，材料浪费多的问题。另外，利用焊接或者钎焊的方法，由于需要除去因热量而造成的变形，或需要进行精加工，因而存在制作成本高的问题。

然而，近年，随着被处理基板的大型化，处理腔室自身的尺寸也随之大型化。例如，FPD的生产过程中，将长边长度超过2m的矩形大型玻璃基板收容在处理腔室内，在真空状态下进行蚀刻或灰化、成膜等处理。另外，对于在真空状态下对这样的大型玻璃基板进行处理的真空容器来说，必须在由铝等形成的金属制容器的内部成为真空的状态下，确保其能够抵抗大气压的充分刚性。

因此，在由现有技术的机械加工或焊接等制造的一体型结构的真空容器中，由于为了提高刚性必须使容器的壁具有充分的厚度，从而造成重量的增加，并且，由于需要通过大型机械进行加工，导致制造成本增加的问题。另外，当真空容器超过规定的尺寸而大型化时，在搬送时受到法律上的限制，存在因搬送而经费增加的问题。

作为通过除机械加工或焊接以外的加工方法制造真空容器的技术，例如具有提案为采用如下部件的真空容器：通过结构螺栓坚固接合成箱形的多个板材、从内侧沿各个板材的接合线连续设置的密封部件、以及朝向所述接合线按压所述密封部件并为了气密性密封而通过结合螺栓进行安装的按压部件。(例如，专利文献1)

另外，也具有如下提案的技术，具有相互接合端面并构成沿周边方向闭合的中空框体的四个以上侧面部件、以及被设置在该中空框体的顶面以及底面并进行接合的顶面部件和底面部件，在各部件邻接的相互接合面之间设置密封部件并构成整体化容器(例如，专利文献2)。

专利文献1；日本特开平9-209150号公报(图4等)

专利文献2：日本特开2004-286165号公报(图1等)

所述专利文献1以及专利文献2的真空容器，由于由板材和密封部件而构成，因而可以在设置地点进行组装，并且搬送时的限制也较少。另外，与通过现有技术的机械加工或焊接等制作真空容器的情形相比，具有能够实现低成本的优点。

但是，对于如专利文件1所述的通过组合板材并进行接合所形成的真空容器而言，存在难以确保容器内部转角处的密封性的问题。例如，专利文献1中，在转角处的三片板材的接合部分上，沿板材的接合线，使用在三个方向相互呈直角折曲的分枝形状的密封部件。但是，这种分枝形的密封部件，在制造时需要立体模具，因而无法避免成本的增加。

另外，在专利文献1的密封部件中，需要将人造橡胶以一定的压力压入板材接合线。但是，在由三片板材构成的转角部，难以充分按压所述分枝形的密封部件，最糟糕的情况是可能无法维持真空状态。

另外，在专利文献2所记载的密封部件中，由于采取在各部件邻接的接合面之间设置密封部件的结构，为了更换密封部件必须分解容器，因而存在难以对于作为消耗品的密封部件进行维修的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述现有技术的问题而提出的，其目的在于提供一种通过接合多片板材而构成的，并充分确保接合部气密性的减压容器。

为解决所述问题，本发明的第一个观点是提供一种接合多个部件而构成的减压容器，所述部件之间的接合部形成在离开所述减压容器转角部的位置上，由密封部件从所述减压容器的内侧密封所述接合部。

本发明的第二个观点是提供一种通过接合多个部件而构成的减压容器，在接合所述侧板之间的所有接合部中，其两侧的内壁面夹着该接合部形成在大致同一平面上，通过密封部件从所述减压容器的内侧密封所述接合部。

本发明的第三个观点是提供一种通过接合包括端部折曲形成的板材和平板在内的多个部件而构成的减压容器，

具有通过所述端部形成折曲的板材和与该板材接合的所述平板而形成的转角部，并且，

通过相互邻接的三个部件而形成的接合部形成在离开所述转角部的位置上，

通过密封部件从所述减压容器的内侧密封接合所述部件之间的接合部。