[发明专利]微型电声波元件

权利要求书

1.一种微型电声波元件，包括一电容式音压感测元件，而上述电容式音压感测元件包含两个或多个上有导电材的平行版以构成电容，其中至少一平行板上开音孔，而在另外该些平行板中至少一该平行板上具有一桥状结构。

2.如权利要求1所述的微型电声波元件，其中上述桥状结构是一悬臂式结构。

3.如权利要求1所述的微型电声波元件，其中上述桥状结构是一拉撑式桥状结构。

4.一种微型电声波元件，包括：

一基板，其上具有背板与薄膜，其中上述的背板具有多个音压孔，而上述薄膜面对上述背板的一侧表面具有一或多个突起结构，当音压传输至上述薄膜时，上述突起结构将会接触上述背板成为一支撑结构，而上述薄膜另一表面具有切割开的桥状结构，桥状结构会因突起结构的支撑而产生变形，而使上述薄膜因此而增加位移的变形量，用以使得电容的电场分布是介于上述薄膜与背板之间而产生变化。

5.如权利要求4所述的微型电声波元件，其中上述支撑结构是一种由具弹性特性的弹性结构体所组成。

6.如权利要求4所述的微型电声波元件，其中上述桥状结构是一悬臂式结构。

7.如权利要求4所述的微型电声波元件，其中上述桥状结构是一拉撑式或指撑式(finger)桥状结构。

8.如权利要求4所述的微型电声波元件，其中上述背板与薄膜之间的间距是具有支撑上述薄膜的桥状结构使的变形的距离。

9.如权利要求4所述的微型电声波元件，其中上述背板与上述薄膜相互平行，而相对于垂直上述基板表面向上的方向，上述背板在下方，而上述薄膜位于上方。

10.如权利要求9所述的微型电声波元件，其中上述背板形成于上述基板上，为上述基板的一部分。

11.如权利要求9所述的微型电声波元件，其中上述薄膜形成于上述基板上。

12.如权利要求4所述的微型电声波元件，其中上述背板与上述薄膜相互平行，而相对于垂直上述基板表面向上的方向，上述背板在上方，而上述薄膜位于下方。

13.如权利要求12所述的微型电声波元件，其中上述薄膜形成于上述基板上。

14.如权利要求12所述的微型电声波元件，其中上述背板形成于上述基板上，为上述基板的一部分。

15.如权利要求4所述的微型电声元件，其中上述薄膜与上述背板是由以碳为基质的聚合物(Carbon-based polymers)、硅(Silicon)、氮化硅(Siliconnitride)，复晶硅(Polycrystalline silicon)、非晶硅(Amorphous silicon)、二氧化硅(Silicon dioxide)、碳化硅(Silicon carbide)、锗(Germanium)、镓(Gallium)、砷化物(Arsenide)、碳(Carbon)、钛(Titanium)、金(Gold)、铁(Iron)、铜(Copper)、铬(Chromium)、钨(Tungsten)、铝(Aluminum)、铂(Platinum)、镍(Nickel)、钽(tantalum)或其合金所组成。

16.如权利要求4所述的微型电声波元件，其中具有支撑上述薄膜的突起结构可在上述背板结构上。