[发明专利]密封部件,减压容器及其密封机构、制造方法与减压装置

说明书

技术领域

本发明涉及减压容器(也包括真空容器。以下为相同意思)的密封技术，例如，涉及在减压下，对以液晶显示装置(LCD)或等离子显示器等为代表的平板显示器(FPD)用玻璃基板等进行干法刻蚀(dryetching)或成膜、搬送、定位对准等处理时使用的减压容器的密封技术。

背景技术

在现有技术中，从确保对大气压的耐久性及气密性的角度考虑，采用了通过机械加工从原料块体中削出容器的方法、或通过焊接板材或钎焊等接合方法来制造真空容器。但是，通过机械进行切削加工时，由于从材料切削出相当于容积大小的量，所以存在加工时间长，材料浪费多的问题。另外，在利用焊接或钎焊的方法中，由于需要除去热量输入而造成的弯曲，或需要进行精加工，因而存在制作成本增高的问题。

然而，近年来，随着被处理基板的大型化处理腔室本身的尺寸也随之大型化。例如，FPD的生产过程中，将长边长度超过2m的矩形大型玻璃基板收容在处理腔室内，在真空状态下进行蚀刻或灰化、成膜等处理。另外，在真空状态下对如此大型玻璃基板进行处理的真空容器中，必须使其在使由铝等形成的金属制容器的内部为真空的状态下确保能够抵抗大气压的充分的刚性。

因此，由现有技术的机械加工或焊接等制造的一体型结构的真空容器中，由于必须使容器的壁具有充分的厚度，从而伴随重量的增大，同时，由于需要通过大型机械加工，导致制造成本增加的问题。另外，当真空容器超过规定的尺寸而大型化时，在搬送时受到法规上的限制，存在伴随搬送的经费增加的问题。

作为通过除机械加工或焊接以外的加工方法制造真空容器的技术，例如提案有采用如下部件的真空容器，通过结构螺栓坚固接合成箱形的多个板材、从内侧沿各个板材的接合线连续设置的密封部件、以及为了朝向所述接合线按压所述密封部件进行气密性密封而由结合螺栓进行安装的按压部件(例如，专利文献1)。

专利文献1：日本特开平9-209150号公报(图4等)

所述专利文献1的真空容器，由于由板材和密封部件而构成，因而可以在安装地点进行组装，并且搬送时的限制较少。另外，与通过现有技术的机械加工或焊接等制作真空容器的情形相比，存在可以实现低成本的优点。但是，对于如专利文献1所述的通过使板材组合、进行接合而形成的真空容器而言，存在难以确保容器内部转角处的密封性的问题。

例如，专利文献1中，在转角处的三片板材的接合部分，使用了沿板材的接合线在三个方向相互呈直角弯曲的分支形的密封部件。但是，这种分支形的密封部件，在制造时需要立体模具，因而无法避免成本的增加。

另外，专利文献1的密封机构中，是通过以一定的压力相对于板材接合线按压合成橡胶(elastomer)而获得密封性的。但是，在由三片板材构成的真空腔室的转角部，难以充分按压所述分支形的密封部件，最糟糕的情况是可能无法维持真空状态。

发明内容

本发明是鉴于上述现有技术的问题而提出的，其目的在于提供一种在接合多片板材而构成的真空容器中，能够充分确保转角处密封性的密封机构。

为解决上述问题，本发明的第一的观点提供一种密封部件，是从内侧密封接合多片板材而构成的减压容器的接合部的密封部件，其特征在于，包括：环线形状部，以包围上述减压容器的转角部的方式配置，通过将其压接在形成上述转角部的多片上述板材的内壁面上，密封上述转角部的周围。

另外，本发明的第二个观点提供一种密封部件，是从内侧密封接合多片板材而构成的减压容器的接合部的密封部件，其特征在于，包括：

密封形成为直线形的上述接合部的直线形状部；以及

环线形状部，与上述直线形状部邻接，构成为环线状，上述环线形状部以包围上述减压容器的转角部的方式配置，通过将其压接在形成上述转角部的多片上述板材的内壁面上，密封上述转角部的周围。

在上述第二个观点中，优选在密封状态下，上述直线形状部在上述减压容器转角部附近与上述环线形状部连接配置。此时，优选以在密封状态下使上述环线形状部相对于邻接的上述直线形状部所成的角度为钝角的方式配置上述环线形状部。另外，优选上述直线形状部与上述环线形状部连接为一体。

另外，在上述第一以及第二个观点中，优选以在密封状态下使上述环线形状部相对于形成上述转角部的上述板材的接合线所成的角度为钝角的方式配置上述环线形状部。另外，上述环线形状部也可以形成为圆环形或多角形。并且，上述环线形状部也可以通过以下部件固定，即被固定在上述减压容器的转角部上，具有支承该环线形状部的支承面的支承块；以及