[发明专利]一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构无效
| 申请号： | 200710102034.1 | 申请日： | 2007-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101298661A | 公开（公告）日： | 2008-11-05 |
| 发明（设计）人： | 赖学明 | 申请（专利权）人： | 和舰科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 215123江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 物理 沉积 设备 红外 传感 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构，包括机台、红外传感装置及一可移动的暗盒，其特征在于，红外传感装置采用对射式传感装置，包括对应设置的红外发射机与红外接收机；红外发射机、红外接收机与机台连接，当暗盒放置于机台内时，红外发射机与红外接收机之间的红外光被阻挡。
2.根据权利要求1所述的红外传感结构，其特征在于，红外发射机与红外接收机竖直对应设置。
3.根据权利要求1或2所述的红外传感结构，其特征在于，上述机台顶部和底部对应位置设置有一对清空孔，上述红外发射机、红外接收机分别设置在上述一对清空孔中。
4.根据权利要求3所述的红外传感结构，其特征在于，上述机台具有一载物台，上述暗盒放置在该载物台上，该载物台与上述红外发射机、红外接收机对应的位置具有一用于供红外光穿过的通孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于和舰科技（苏州）有限公司，未经和舰科技（苏州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200710102034.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：信息存储装置
- 下一篇：具有大致圆形截面的抓握表面的乘客输送装置扶手
- 同类专利
- 专利分类
