[发明专利]图案转印设备、压印设备和图案转印方法

权利要求书

1、一种把在具备对准标记的印模上形成的压印图案转印到具备对准标记的基板上，或者转印到置于基板和印模之间的树脂材料上的图案转印设备，所述图案转印设备包括：

在第一物体位置获得图像的第一图像拾取装置；和

在与第一物体位置隔开的第二物体位置获得图像的第二图像拾取装置，

其中印模的对准标记和基板的对准标记，或者参考基板的对准标记可放置在第一物体位置，基板或参考基板的对准标记可放置在第二物体位置，

其中通过第一和第二图像拾取装置观察放置在第一和第二物体位置的对准标记，从而获得与通过第一和第二图像拾取装置观察的对准标记之间图像位置方面的差异有关的信息，和

其中根据获得的信息实现面内方向上印模和基板之间的对准，从而把压印图案转印到基板或树脂材料上。

2、按照权利要求1所述的设备，其中通过比较在第一数据位置的参考基板的图像与在第二物体位置的参考基板的图像，获得和图像位置方面的差异有关的信息。

3、按照权利要求1或2所述的设备，其中第一物体位置和第二物体位置之间的距离等于或大于基板和形成于印模上的压印图案通过树脂材料间接相互接触的距离。

4、按照权利要求2所述的设备，其中参考基板具备在其面对基板的表面上的对准标记，和在其面对印模的表面上的对准标记，并且厚度等于第一物体位置和第二物体位置之间的距离。

5、按照权利要求2或4所述的设备，其中提供给参考基板的对准标记被布置在尺寸与印模的图案区的尺寸相同的区域中。

6、按照权利要求2或4所述的设备，其中参考基板由形成于印模上的压印图案将被转印到其上的基板本身构成。

7、按照权利要求1、2或4所述的设备，其中通过在第二物体位置沿面内方向实现印模和基板之间的对准，并使对准的印模和基板直接相互接触，或者通过树脂材料间接相互接触，压印图案可被转印到基板或者树脂材料上。

8、按照权利要求1所述的设备，其中所述图案转印设备还包括调整进入所述第一和第二图像拾取装置的光线的量的光量调节机构。

9、按照权利要求8设备，其中所述光量调节机构被这样构成，使得在第一和第二图像拾取装置的多个区域中，光线的量都是可调节的。

10、一种图案转印方法，用于把在具备对准标记的印模上形成的压印图案转印到具备对准标记的基板上，或者转印到置于基板和印模之间的树脂材料上，所述图案转印方法包括：

通过把提供给印模的对准标记和提供给参考基板的对准标记布置在第一物体位置，并通过第一图像拾取部分观察对准标记，获得第一图像的第一步骤；

通过把提供给参考基板的对准标记布置在与第一物体位置分开的第二物体位置，并通过第二图像拾取部分观察对准标记，获得第二图像的第二步骤；和

通过使用第一和第二图像，获得和对准标记之间图像位置方面的差异有关的信息的第三步骤。

11、按照权利要求10所述的方法，其中在所述第一步骤中，实现印模和参考基板之间的对准。

12、按照权利要求10所述的方法，其中在所述第一步骤和所述第二步骤之间，保持参考基板在其面内方向上的位置。

13、按照权利要求10所述的方法，其中在所述第三步骤中，通过比较第二图像与布置在第二物体位置的参考基板的对准标记，获得和图像位置方面的差异有关的信息。

14、按照权利要求10-13任意之一所述的方法，其中提供给参考基板的对准标记被布置在尺寸与印模的图案区的尺寸相同的区域中。

15、按照权利要求10-13任意之一所述的方法，其中参考基板由形成于印模上的压印图案将被转印到其上的基板本身构成。

16、按照权利要求10-13任意之一所述的方法，其中所述图案转印方法还包括在所述第三步骤之后，通过使印模和基板直接相互接触，或者通过树脂材料间接相互接触，从而在第一物体位置实现印模和基板间的对准，把压印图案转印到基板或者树脂材料上的第四步骤。