[发明专利]一种用于气体吸附/脱附动力学测定的努森池－质谱仪

权利要求书

1、努森池-质谱仪包括气体泄漏阀、努森池、连续可调虹膜、过渡室、门阀、四级质谱仪、温度测量系统、温度控制系统、压力测量系统和压力控制系统，其特征在于泄漏阀、努森池、连续可调虹膜、过渡室、门阀、小孔、质谱仪依次连接；努森池由可垂直运动的样品盖、固定的可更换的样品池、温度和压力测量控制系统构成。

2、根据权利要求1所述的努森池-质谱仪，其特征在于利用泄漏阀作为常压和低压的接口，并能够控制进入真空系统的气体量；努森池和过渡室之间利用虹膜或泄漏孔连接，其孔径在0-20mm之间连续可调；过渡室和质谱仪之间利用门阀连接，保证更换样品时质谱系统的真空度不变。

3、根据权利要求1所述的努森池-质谱仪，其特征在于样品盖能垂直运动，使样品暴露或隔离于气体气氛中，样品盖和样品台之间用O型圈密封。

4、根据权利要求1所述的努森池-质谱仪，其特征在于努森池所有腔体内表面镀特富龙膜，具有化学惰性。

5、根据权利要求1所述的努森池-质谱仪，其特征在于利用质谱作为检测器，门阀和质谱仪检测器之间用小孔连接，其孔径为10-20mm。

6、根据权利要求1所述的努森池-质谱仪，其特征在于利用循环流动介质分别实现-60℃-0℃和0℃-250℃，样品温度的精确控制和测量，其误差范围为±0.1℃。

7、根据权利要求1所述的压力测量系统和压力控制系统，其特征在于努森池、过渡室、质谱真空腔分别与真空规连接，过渡室和质谱真空腔的压力分别由差分涡轮分子泵和涡轮分子泵及其前级泵控制。

8、根据权利要求3所述的样品台，其特征在于样品台与努森池底部构成一个空腔，利用加热或冷却介质的循环实现对样品温度控制。

9、根据权利要求3所述的样品台，其特征在于内埋铂电阻温度计并与样品池紧密接触，其测量范围为-100℃-250℃，测量误差为±0.1℃。