[发明专利]狭缝式涂敷装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种狭缝式涂敷装置，具体涉及一种适于在平板显示器用基板上涂敷光致抗蚀剂等感光液的涂敷作业，且可简单除去附着在喷嘴吐出口上的感光液的狭缝式涂敷装置。

背景技术

通常，在平板显示器用基板的制造工艺中，在基板表面形成预定图案的工序，主要以照相平版印刷(photolithography)方式来进行。采用所述照相平版印刷方式，在进行曝光、显影、蚀刻工序之前，首先要进行对基板表面涂敷一定厚度的光致抗蚀剂等液态感光物质(sensitive material)的涂敷工序。

所述涂敷工序，通常利用具有狭缝式吐出口的喷嘴，在基板移动过程中对基板涂敷感光液。此时所用装置为一般的狭缝式涂敷装置。

而且，所述涂敷装置还包括用于除去不均匀地附着在喷嘴吐出口端部上的感光液的清洗装置。

众所周知，所述清洗装置一般使用吸附辊(priming roller)进行清洗。

这种辊轮清洗方式，将所述吸附辊与喷嘴吐出口的切开方向相平行地配置，并以其轴线为中心予以转动，从而除去附着在喷嘴吐出口端部上的感光液。所述吸附辊的长度相应于喷嘴吐出口的狭缝长度。

而且，所述吸附辊的一侧另装有辊轮清洗器，所述清洗器与辊轮的旋转动作连动，并向辊轮外周面的一侧喷射清洗用流体(干燥用气体或丙酮溶液)，从而清洗辊轮表面后使其进行感光液的除去作业。

但是，利用所述吸附辊的辊轮清洗方式，在喷嘴吐出口整个区域上的狭缝与吸附辊的外周面相接触的状态下，通过简单的旋转动作来除去感光液。因此这种结构在除去感光液时可能出现下述问题。

首先，若喷嘴吐出口的狭缝方向和吸附辊不平行，则吐出口的整个狭缝区中的一部分将处于未接触的状态，因此难以均匀地除去附着在整个吐出口上的感光液。

另外，如果吸附辊的长度相应于吐出口的整个狭缝长度，由于在支撑辊轮两侧的状态下，其中间部分会下坠而弯曲变形。因此很难与吐出口的切开方向相平行地配置所述吸附辊。

特别是，附着在喷嘴吐出口端部上的感光液未被完全去除的状态下，对基板进行涂敷作业，将会在基板的初始涂敷位置不能均匀地涂敷感光液，从而产生过多的不良产品。

此外，在与喷嘴吐出口平行的状态下，通过使所述吸附辊以其中心轴线为基准向某一特定方向转动以去除感光液的方式，由于附着在喷嘴吐出口端部上的感光液沿着所述辊轮的旋转方向堆积到某一侧，将会导致感光液再次附着在喷嘴端部另一位置的二次污染。

而且，由于所述吸附辊与利用清洗用流体清洗辊轮表面的清洗器连动，因此其电气机械结构复杂，不易进行维修，而且在涂敷工作区域中占上过多的空间。

为了解决这种辊轮清洗方式的缺点，有一技术提出沿着喷嘴吐出口的狭缝方向移动硅质擦拭部件以除去感光液的擦拭清洗方式。但这种方式在擦拭部件沿着吐出口切开方向从一端移动到另一端时，由于感光液的溢出而引起二次污染。

发明内容

本发明鉴于上述问题而作，其目的在于提供一种，在去除感光液时，可防止因附着在喷嘴吐出口上的感光液引起的二次污染，且结构简单的狭缝式涂敷装置。

为实现上述目的，本发明提供一种狭缝式涂敷装置，其包括：工作台，其工作面上进行对基板的涂敷作业；喷嘴本体，其具有狭缝式吐出口，且固定在工作台的一侧，并且对沿所述工作面移动的基板涂敷感光液；清洗辊轮，其具有圆筒形清洗部件，且以横穿吐出口切开方向的方式位于所述喷嘴本体的下方；第一驱动部，其用于向某一方向转动所述清洗辊轮，使圆筒形清洗部件以其轴线为中心旋转；第二驱动部，其用于移动清洗辊轮，以使所述清洗辊轮在第一驱动部的作用下旋转的同时，沿所述吐出口的切开方向移动；第三驱动部，其与第一驱动部及第二驱动部相连动，使所述清洗辊轮向直交于所述吐出口狭缝的方向移动。

采用本发明，当利用狭缝式喷嘴在基板上涂敷光致抗蚀剂等感光液时，可通过清洗辊轮简单地除去附着在喷嘴吐出口上的感光液。

特别是，由于所述清洗辊轮的三个不同方向的去除动作互相连动，因此吐出口端部不会与辊轮外周面重复接触，而且可以通过沿辊轮外周面的螺旋区域相接触的方式来进行去除作业。

这种感光液去除方式，与以往的去除方式(利用吸附辊或硅材质擦拭部件的去除方式)相比，可利用小型辊轮来简单地去除感光液，并且在去除作业中能够最大限度地防止吐出口的二次污染。

由此，通过狭缝涂敷方式来进行感光液涂敷作业时，可以均匀地除去附着在喷嘴吐出口上的感光液，从而进一步提高涂敷质量及作业效率。

附图说明

图1是本发明的狭缝式涂敷装置的整体结构示意图。

图2是图1的局部放大图。