[发明专利]具电性遮蔽结构的探针卡

权利要求书

1.一种具电性遮蔽结构的探针卡，是悬臂式探针装置，其特征在于，包括有：

一探针座，是具有具绝缘性的一周壁及多数个支撑部，以及具导电性的多数个导电部，该周壁位于该探针座周围，该些支撑部为该周壁所环绕，各该支撑部相邻于该周壁之间设有该导电部，各该导电部内具有至少一金属片，该金属片电性连接于接地电位；以及，

多数个第一及第二探针，各该第一及第二探针是延伸区分有一身部、一连接部、一力臂及一针尖，各该第一探针的身部位于该探针座外，其连接部固定于该探针座的周壁，其力臂朝该探针座中延伸悬设，其针尖沿铅垂方向延伸凸设于该探针座，各该第二探针的身部自该探针座外朝该周壁及导电部延伸穿设并固定其连接部于该支撑部上，其力臂朝该探针座中延伸悬设，其针尖沿铅垂方向延伸凸设于该探针座，各该第二探针于该探针座内是与相邻的该第一探针于铅垂方向上相隔有特定的间距，该些第二探针的身部于该导电部内是布设该金属片。

2.依据权利要求1所述的具电性遮蔽结构的探针卡，其特征在于，各该第二探针是具有一绝缘层，以同轴环绕该第二探针。

3.依据权利要求2所述的具电性遮蔽结构的探针卡，其特征在于，各该导电部内具有多数个金属片，分别对应于各该第二探针所设置，各该金属片是同轴包覆各该第二探针的绝缘层。

4.依据权利要求1所述的具电性遮蔽结构的探针卡，其特征在于，该探针座上更设有多数个第三探针，迭置于该第二探针上，各该第三探针于该探针座内是与相邻的该第二探针于铅垂方向上相隔有特定的间距，各该第三探针穿设该探针座的周壁、二该支撑部及二该导电部。

5.依据权利要求4所述的具电性遮蔽结构的探针卡，其特征在于，该些支撑部区分有第一及第二支撑部，该些导电部区分有第一及第二导电部，各该第一支撑部与该周壁相邻并列，各该第二支撑部与该周壁之间具有该第一支撑部，该第一导电部设于该第一支撑部与该周壁之间，该第二导电部设于该第一支撑部与该第二支撑部之间。

6.依据权利要求4或5所述的具电性遮蔽结构的探针卡，其特征在于，各该第三探针是延伸区分有一身部、一连接部、一力臂及一针尖，其身部自该探针座外朝该周壁、第一导电部、第一支撑部及第二导电部依序延伸穿设，并固定其连接部于该第二支撑部上，其力臂朝该探针座中延伸悬设，其针尖沿铅垂方向延伸凸设于该探针座。

7.依据权利要求1所述的具电性遮蔽结构的探针卡，其特征在于，该金属片具有较该导电部为高的导电率。

8.依据权利要求7所述的具电性遮蔽结构的探针卡，其特征在于，该导电部为具有黏着性及导电性的材质所制成。

9.依据权利要求1所述的具电性遮蔽结构的探针卡，其特征在于，该探针座的周壁与各支撑部为相同材质所制成。

10.一种具电性遮蔽结构的探针卡，是悬臂式探针装置，其特征在于，包括有：

一探针座，是具有具绝缘性的一周壁及多数个支撑部，该周壁位于该探针座周围，该些支撑部为该周壁所环绕；以及，

多数个第一及第二探针，各该第一及第二探针是延伸区分有一身部、一连接部、一力臂及一针尖，各该第一探针的身部位于该探针座外，其连接部固定于该探针座的周壁，其力臂朝该探针座中延伸悬设，其针尖沿铅垂方向延伸凸设于该探针座，各该第二探针的身部自该探针座外朝该周壁延伸穿设并固定其连接部于该支撑部上，其力臂朝该探针座中延伸悬设，其针尖沿铅垂方向延伸凸设于该探针座，各该第二探针于该探针座内是与相邻的该第一探针于铅垂方向上相隔有特定的间距，各该第二探针上同轴包覆有一绝缘层，该些绝缘层上贴附有至少一金属片，该金属片电性连接于接地电位。

11.依据权利要求10所述的具电性遮蔽结构的探针卡，其特征在于，各该第二探针的绝缘层上设有各该金属片，该金属片是同轴包覆该第二探针。

12.依据权利要求10所述的具电性遮蔽结构的探针卡，其特征在于，该探针座的各支撑部相邻于该周壁之间设有一导电部，各该第二探针的身部为延伸穿设该周壁及导电部。