[发明专利]印刷辊的敷层、其制造方法、使用其的构图方法、以及液晶显示器件的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于形成液晶显示(LCD)器件和半导体器件中的微小 图案的印刷辊，更具体地涉及附于该印刷辊的敷层(blanket)。

背景技术

通常，LCD器件和半导体器件设置有在基板上构图出的多个层。因 此，进行各种处理以对该多个层进行构图。为了将该多个层构图成各种 形状，必须进行光刻。

光刻需要使用具有预定图案的掩模和光照射装置，从而使制造成本 增加。此外，因为光刻需要曝光和显影，所以光刻导致复杂的工艺并增 加了制造时间。

为了克服光刻的这些问题，已开发出了一种新的构图方法，例如使 用印刷辊的印刷法。

图1A至1C是概略地示出了使用现有技术印刷辊的构图方法的图。

首先，如图1A所示，通过印刷喷嘴10将图案材料20施加到其上附 有敷层的印刷辊30。这样，印刷棍30的表面就涂覆有图案材料20。在 此情况下将该图案材料20与挥发性溶剂混合。该挥发性溶剂使图案材料 20顺利地涂覆在印刷辊30上。就在用图案材料20对印刷辊30进行涂覆 之后，该挥发性溶剂蒸发。

之后，如图1B所示，将印刷辊30在设置有多个突起的印刷板40 上滚动。结果，一些图案材料20b被转印到印刷板40的突起上，而其余 的图案材料20a在印刷辊30上形成预定图案。

参照图1C，印刷辊30在基板50上滚动，由此，印刷辊30的其余 的图案材料20a被转印到基板50，从而在基板50上形成期望的图案。

敷层35需要良好地粘附于印刷辊30，并且还需要针对印刷工艺的 防变形性质。在这一方面，敷层35通常由Si基树脂(Si-based resin)形 成。然而，针对溶解图案材料20的挥发性溶剂的渗透，Si基树脂较弱。 因此，Si基树脂的敷层35会因为挥发性溶剂的渗透而变形。如果敷层35 变形，则难以顺利地进行涂覆和印刷工艺，从而形成的图案不精确。

发明内容

因此，本发明旨在提供一种印刷辊的敷层、该覆层的制造方法、使 用该覆层的构图方法、以及使用该构图方法的液晶显示器件的制造方法， 其基本上避免了由于现有技术的限制和缺陷而导致的一个或更多个问 题。

本发明的一个目的是提供一种印刷辊的敷层，其上形成有丙烯酸酯 (acrylate)膜，用于在用图案材料来涂覆所述印刷辊时防止图案材料的 挥发性溶剂渗透到该敷层中并且防止所述敷层变形，还提供该覆层的制 造方法、使用该覆层的构图方法、以及使用该构图方法的LCD器件的制 造方法。

本发明的其他优点、目的以及特征将部分地在随后的说明中进行阐 述，而部分地在本领域普通技术人员研究了下面的内容后会变得清楚， 或者可以通过实施本发明而获知。本发明的上述目的和其他优点可以由 在说明书及其权利要求书以及附图中具体指出的结构而实现并获得。

为了实现这些目的和其他优点，并且根据本文中所具体体现和广泛 描述的发明宗旨，提供了一种印刷辊的敷层，该敷层包括：Si基树脂层； 和丙烯酸酯膜，所述丙烯酸酯膜述形成在Si基树脂层的一个表面上，在 所述Si基树脂层与所述丙烯酸酯膜之间形成氧化物膜。

此时，所述Si基树脂层由聚二甲基硅氧烷(polydimethyl siloxane， PDMS)形成。

此外，所述丙烯酸酯膜具有设置在6[cal^1/2cm^-3/2]和11[cal^1/2cm^-3/2]之间 的溶解度参数。

如果该Si基树脂层的溶解度参数与丙烯酸酯膜的相似，则因为它们 将自身识别为相同材料，所以它们易于混合在一起。因此，如果所述丙 烯酸酯膜是由溶解度参数与PDMS的溶解度参数相似的材料形成的，则 该丙烯酸酯膜与该Si基树脂层顺利地互相扩散，由此将所述丙烯酸酯膜 和所述Si基树脂层形成为一体。

假设Si基树脂层的PDMS的溶解度参数为7.3[cal^1/2cm^-3/2]，则优选 的是，提供溶解度参数在6[cal^1/2cm^-3/2]和11[cal^1/2cm^-3/2]之间的用于丙烯酸 酯膜的材料。