[发明专利]制造机台的监测数据处理方法和装置、监控方法和系统有效
| 申请号: | 200710094401.8 | 申请日: | 2007-12-07 |
| 公开(公告)号: | CN101452272A | 公开(公告)日: | 2009-06-10 |
| 发明(设计)人: | 李武;方利 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号: | G05B19/048 | 分类号: | G05B19/048;H01L21/00 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 逯长明 |
| 地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 制造 机台 监测 数据处理 方法 装置 监控 系统 | ||
1.一种制造机台的监控方法,其特征在于,包括下列步骤:
测量在制品,获取在制品的性能参数的测量值;
判断所述测量值是不需要还是需要计算的测量值;
若所述测量值是不需要计算的测量值,则将所述在制品的性能参数的测 量值作为制造机台的监测数据记录;
若所述测量值是需要计算的测量值,则判断所述测量值是制造机台处理 前还是处理后的测量值;
若所述测量值是制造机台处理前的测量值,则暂存所述测量值及所述测 量值的测量时间;
若所述测量值是制造机台处理后的测量值,则根据所述处理后的测量值 和对应的处理前的测量值,计算在制品的性能参数的计算值;所述对应的处 理前的测量值是根据所述暂存的测量值的测量时间选择的;
将所述在制品的性能参数的计算值作为制造机台的监测数据记录;
判断所述记录的制造机台的监测数据是否在预定的范围内,若是则控制 制造机台继续工作,若否则控制制造机台停止工作;
其中,所述判断所述测量值是不需要还是需要计算的测量值是根据所述 性能参数的类型或所述测量值的类型来判断的。
2.一种制造机台的监控系统,其特征在于,包括:
测量装置,用于测量在制品,获取在制品的性能参数的测量值;
监测数据处理装置,用于在所述测量值是不需要计算的测量值时、将所 述在制品的性能参数的测量值作为制造机台的监测数据记录,在所述测量值 是需要计算的测量值并且是制造机台处理前的测量值时、暂存所述测量值及 所述测量值的测量时间,在所述测量值是需要计算的测量值并且是制造机台 处理后的测量值时、根据所述处理后的测量值和对应的处理前的测量值,计 算在制品的性能参数的计算值,并将所述在制品的性能参数的计算值作为制 造机台的监测数据记录;
控制装置,用于判断所述监测数据处理装置记录的制造机台的监测数据 是否在预定范围内,若是则控制制造机台继续工作,若否则控制制造机台停 止工作;
其中,所述监测数据处理装置根据所述性能参数的类型判断所述测量值 是不需要还是需要计算的测量值;所述监测数据处理装置根据所述测量值的 类型判断所述测量值是制造机台处理前还是处理后的测量值;所述对应的处 理前的测量值是根据所述暂存的测量值的测量时间选择的。
3.根据权利要求2所述的制造机台的监控系统,其特征在于,所述制造机 台的监测数据记录在监测数据处理装置或者控制装置中。
4.根据权利要求2所述的制造机台的监控系统,其特征在于,所述测量装 置包括:
第一测量单元,用于测量制造机台处理前的在制品,获得处理前在制品 的性能参数的测量值;
第二测量单元,用于测量制造机台处理后的在制品,获得处理后在制品 的性能参数的测量值。
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