[发明专利]制造机台的监测数据处理方法和装置、监控方法和系统有效

专利信息
申请号: 200710094401.8 申请日: 2007-12-07
公开(公告)号: CN101452272A 公开(公告)日: 2009-06-10
发明(设计)人: 李武;方利 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G05B19/048 分类号: G05B19/048;H01L21/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 逯长明
地址: 201203*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 制造 机台 监测 数据处理 方法 装置 监控 系统
【权利要求书】:

1.一种制造机台的监控方法,其特征在于,包括下列步骤:

测量在制品,获取在制品的性能参数的测量值;

判断所述测量值是不需要还是需要计算的测量值;

若所述测量值是不需要计算的测量值,则将所述在制品的性能参数的测 量值作为制造机台的监测数据记录;

若所述测量值是需要计算的测量值,则判断所述测量值是制造机台处理 前还是处理后的测量值;

若所述测量值是制造机台处理前的测量值,则暂存所述测量值及所述测 量值的测量时间;

若所述测量值是制造机台处理后的测量值,则根据所述处理后的测量值 和对应的处理前的测量值,计算在制品的性能参数的计算值;所述对应的处 理前的测量值是根据所述暂存的测量值的测量时间选择的;

将所述在制品的性能参数的计算值作为制造机台的监测数据记录;

判断所述记录的制造机台的监测数据是否在预定的范围内,若是则控制 制造机台继续工作,若否则控制制造机台停止工作;

其中,所述判断所述测量值是不需要还是需要计算的测量值是根据所述 性能参数的类型或所述测量值的类型来判断的。

2.一种制造机台的监控系统,其特征在于,包括:

测量装置,用于测量在制品,获取在制品的性能参数的测量值;

监测数据处理装置,用于在所述测量值是不需要计算的测量值时、将所 述在制品的性能参数的测量值作为制造机台的监测数据记录,在所述测量值 是需要计算的测量值并且是制造机台处理前的测量值时、暂存所述测量值及 所述测量值的测量时间,在所述测量值是需要计算的测量值并且是制造机台 处理后的测量值时、根据所述处理后的测量值和对应的处理前的测量值,计 算在制品的性能参数的计算值,并将所述在制品的性能参数的计算值作为制 造机台的监测数据记录;

控制装置,用于判断所述监测数据处理装置记录的制造机台的监测数据 是否在预定范围内,若是则控制制造机台继续工作,若否则控制制造机台停 止工作;

其中,所述监测数据处理装置根据所述性能参数的类型判断所述测量值 是不需要还是需要计算的测量值;所述监测数据处理装置根据所述测量值的 类型判断所述测量值是制造机台处理前还是处理后的测量值;所述对应的处 理前的测量值是根据所述暂存的测量值的测量时间选择的。

3.根据权利要求2所述的制造机台的监控系统,其特征在于,所述制造机 台的监测数据记录在监测数据处理装置或者控制装置中。

4.根据权利要求2所述的制造机台的监控系统,其特征在于,所述测量装 置包括:

第一测量单元,用于测量制造机台处理前的在制品,获得处理前在制品 的性能参数的测量值;

第二测量单元,用于测量制造机台处理后的在制品,获得处理后在制品 的性能参数的测量值。

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