[发明专利]晶圆特性测试中探针卡测试仪和探针卡使用量的计数方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种利用探针卡测试仪实现的探针卡使用量的计数方法。

背景技术

在集成电路元器件测试过程中，经常要用到探针对晶圆进行测试。现在使用的探针都是包装在探针卡上的，探针卡用完之后需要及时更换，从而使测试工作能够顺利进行。现行的探针卡用量的计数系统如图1所示，该系统是在探针卡测试仪外部建立探针卡用量计数数据库，该数据库直接与探针台通信、接受数据，该数据库中的内容如表1所示，其预先设定产品类别及其所使用的探针卡型号和每次的用量等字段，通过从探针台测试后得到的晶圆枚数与每次用量的乘积来实现对该探针卡实际用量的计数。

  产品类别  探针卡型号  探针卡用量/每枚晶圆  AAA  A  50次  BBB  B  100次  CCC  C  80次  DDD  D  30次  ……  ……  ……

表1

但是，该计数方法的准确性完全建立在产品必须使用相同的测试条件(即相同的探针卡用量)的基础上，若产品不断变更测试条件，不同条件下探针卡的实际用量会因数据库中探针卡用量字段设定的固定数值无法得到准确的计算。即便在该数据库中增加与产品类别关联的测试条件字段来计算探针卡用量，也会因不同情况下测试条件的不断变换而需经常维护数据库(修改探针卡用量的设定值)使整个计数过程无法适合实际生产需要。

例如，在表1中，产品AAA事先设定了探针卡用量的次数50次，但若产品AAA需经常使用2个作业条件，其探针卡用量分别对应为50次和100次，按照数据库中探针卡用量的设定值，探针卡实际用量只能按照50次进行计数。这就导致探针卡用量的计数不准确，而探针卡是有一定的使用寿命的，如果探针卡的使用超过了使用寿命，就会影响测试效果；如果探针卡的使用尚未达到使用寿命就进行了更换，又会造成浪费。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种利用探针卡测试仪实现的探针卡使用量的计数方法，能够按照当前测试条件的信息实时、正确的计算探针卡的用量。