[发明专利]负型感光性树脂组合物

说明书

技术领域

本发明涉及一种负型感光性树脂组合物，本发明涉及的负型感光性 树脂组合物的耐热性、粘接强度、绝缘性、透过率、平坦性、耐化学性 和常温保存稳定性等性能优异，适用于液晶显示元件的图像形成用材料， 特别地，由于在形成液晶显示元件的有机绝缘膜时，该负型感光性树脂 组合物的灵敏度、残膜率、UV透过率优异，因而适于用作层间有机绝缘 膜，不仅如此，将该负型感光性树脂组合物用作保护层用抗蚀剂树脂、 黑矩阵用抗蚀剂树脂、柱状间隔物(column spacer)用抗蚀剂树脂或滤色片 用抗蚀剂树脂时，可以提高灵敏度以及耐热性、粘接强度、常温保存稳 定性。

背景技术

在TFT型液晶显示元件或集成电路元件中，使用层间绝缘膜以使配 置于层间的配线之间绝缘，为了使液晶彩色显示器大面积化、画质高、 高对比显示，使用保护层用抗蚀剂、黑矩阵用抗蚀剂、柱状间隔物用抗 蚀剂、滤色片用抗蚀剂等作为图像形成用液晶显示元件的材料。

形成层间绝缘膜时，使用为得到必要的图案(pattern)形状的层间绝缘 膜而用的工序数少且平坦性优异的感光性材料。

此外，随着液晶显示器(LCD)的显示品质的提高，TFT型液晶显示元 件的结构也发生变化，增大层间绝缘膜的膜厚并提高平坦性后进行使用 的情况有所增加。不仅如此，适用于LCD制造工序的层间绝缘膜要求具 有优异的透过率。

以往的层间绝缘膜含有PAC、粘合剂和溶剂等成分，作为所述粘合 剂主要使用丙烯酸树脂。但是，上述丙烯酸树脂的情况中，由于难以获 得层间绝缘膜所要求的高耐热性，所以会由于释气(Outgassing)引起感光 设备的损伤和残像的问题，从而难以获得与构成各层的金属(ITO、SiNx 等)之间的粘接强度，并且，热固化后会产生着色，难以实现层间绝缘膜 所要求的高透过率，在常温下保管时会引起分子量上升的问题，从而在 灵敏度和图案形状变化等保存稳定性上存在问题。

对于以往用作图像形成用液晶元件的材料的保护层用抗蚀剂树脂、 黑矩阵用抗蚀剂树脂、柱状间隔物用抗蚀剂树脂、滤色片用抗蚀剂树脂， 主要使用丙烯酸树脂，这些丙烯酸树脂存在其基于光引发剂和具有乙烯 型不饱和键的多官能性单体的固化速度慢、固化后产生体积收缩的问题。

发明内容

为了解决上述现有技术的问题，本发明的目的在于提供一种负型感 光性树脂组合物，并提供含有该感光性树脂的固化物的TFT型液晶显示 元件以及使用该负型感光性树脂组合物的TFT型液晶显示元件的图案形 成方法，所述负型感光性树脂组合物的粘接强度、耐热性、绝缘性、平 坦性、耐化学性和常温保存稳定性等性能优异，适用于液晶显示元件的 图像形成用材料，特别地，由于该负型感光性树脂组合物在形成液晶显 示元件的有机绝缘膜时，灵敏度、残膜率、UV透过率优异，因而适于用 作层间有机绝缘膜。

本发明的其他目的在于提供一种负型感光性树脂组合物，并提供含 有该感光性树脂的固化物的TFT型液晶显示元件以及使用该负型感光性 树脂组合物的TFT型液晶显示元件的图案形成方法，所述负型感光性树 脂组合物用作保护层用抗蚀剂树脂、黑矩阵用抗蚀剂树脂、柱状间隔物 用抗蚀剂树脂或滤色片用抗蚀剂树脂时，可以提高灵敏度和残膜率。

为了实现上述目的，本发明提供一种负型感光性树脂组合物，其特 征在于，该负型感光性树脂组合物含有：

a)丙烯酸类共聚物、

b)光引发剂、

c)具有乙烯型不饱和键的多官能性单体、

d)含有环氧基或胺基的硅类化合物、以及

e)溶剂；

所述a)丙烯酸类共聚物是通过使

i)下述化学式1所示的苯基马来酰亚胺类化合物、

ii)烯丙基丙烯酸类化合物、以及

iii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物进行共聚而得到的。

[化学式1]

化学式1中，R表示羟基(OH^-)或羧基(CH₃COO^-)。

并且，优选本发明的负型感光性树脂组合物含有：

100重量份的a)丙烯酸类共聚物、

0.001重量份～30重量份的b)光引发剂、