[发明专利]可辐射固化显影的聚胺酯以及含其的辐射可固化显影的光阻组成物

权利要求书

1、 一种可辐射固化显影的聚胺酯，其特征在于：其主链具有羧酸基且具有侧链丙烯酰基，且由下述重复单元(I)、(II)及(III)以无规排列所构成：

其中：

R为C_1-12直链或分支亚烷基、C_3-8环状亚烷基、亚苯基、亚联苯基、亚萘基、亚二甲苯基、亚甲苯胺基、-Ph-A-Ph-基，其中A为CH₂、-NH-或-O-，该等基又可视情况经C_1-6烷基取代；

R’为二价脂族基，其上又可具有一或多个OH取代基，该OH取代基又可视情况进而与二异氰酸酯反应；且

R”为具有一或多个OH取代基的直链或分支链的C_1-6烷基，该OH取代基又可视情况进而与二异氰酸酯反应，

该聚胺酯以凝胶渗透层析所测定的重量平均分子量在3,000～400,000的范围；且酸值为5～120mg KOH/g。

2、 根据权利要求1所述的聚胺酯，其特征在于：所述聚胺酯的重量平均分子量在6,000～80,000的范围。

3、 根据权利要求1所述的聚胺酯，其特征在于：所述聚胺酯的酸值为10～60mg KOH/g。

4、 一种可辐射固化显影的光阻组成物，其特征在于：其包括下列有效成份：权利要求1所述的主链具有羧酸基且具有侧链丙烯酰基，且由重复单元(I)、(II)及(III)所构成的聚胺酯(A)、丙烯酸单体(B)及光起始剂(C)；其中聚胺酯(A)与丙烯酸单体(B)的重量比例(A)∶(B)为40～90∶10～60，而光起始剂(C)的含量为聚胺酯(A)及丙烯酸单体(B)总重的1～50％(重量)。

5、 根据权利要求4所述的光阻组成物，其特征在于：进一步包括接着助剂(D)，其使用量相对于聚胺酯(A)及丙烯酸单体(B)总重为0.1～5％(重量)。

6、 根据权利要求4所述的光阻组成物，其特征在于：进一步包括着色剂(E)，其使用量相对于聚胺酯(A)及丙烯酸单体(B)总重为5～40％(重量)。

7、 根据权利要求4所述的光阻组成物，其特征在于：进一步包括分散剂(F)，其使用量相对于聚胺酯(A)及丙烯酸单体(B)总重为3～15％(重量)。

8、 根据权利要求4所述的光阻组成物，其特征在于：进一步包括溶剂(G)。