[发明专利]一种碳纳米管纳电子器件及其制备方法

权利要求书

1.一种以碳纳米管为基的纳电子器件，包括半导体型碳纳米管和与之连接的电极，其特征在于：所述电极是金属钪电极，金属钪电极与半导体型碳纳米管形成n型欧姆接触。

2.一种以碳纳米管为基的纳电子器件的制备方法，采用金属钪作为电极材料，通过如下方法在金属钪与半导体型碳纳米管之间建立n型欧姆接触电极连接：首先通过光刻在碳纳米管周围形成电极的形状，再蒸镀一层金属钪，然后剥离去除不需要的金属层。

3.一种以碳纳米管为基的纳电子器件的制备方法，采用金属钪作为电极材料，通过如下方法在金属钪与半导体型碳纳米管之间建立n型欧姆接触电极连接：在扫描电镜或透射电镜中，用金属钪做探针的针尖，利用纳米探针操纵系统将钪针尖直接接触到碳纳米管的两端。

4.一种以碳纳米管为基的纳电子器件的制备方法，采用金属钪作为电极材料，通过如下方法在金属钪与半导体型碳纳米管之间建立n型欧姆接触电极连接：在金属钪电极对上加交流电压，把分散好的碳纳米管的溶液滴到金属钪电极对上，在交流电压的诱导下把碳管排列到钪电极上。