[发明专利]压模的制造方法无效
| 申请号： | 200710089625.X | 申请日： | 1999-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN101055730A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | 水野裕宣;大野孝志;堀江通和 | 申请（专利权）人： | 三菱化学媒体株式会社 |
| 主分类号： | G11B7/006 | 分类号： | G11B7/006;G11B7/243 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种压模的制造方法，是通过槽蛇行赋予相位调制的摆动信号的压模的制造方法，其特征在于，具有以下工序，
使光刻胶曝光用的激光在±Vw电压间2值相位调制的摆动波形沿半径方向蛇行，对形成在玻璃基板上的光刻胶层进行曝光，
在上述工序中，通过将环形调制器输出波加在EO调制器上进行所述光刻胶曝光用的激光的蛇行。
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