[发明专利]控制应变半导体层中位错行为的结构和方法无效
申请号: | 200710086002.7 | 申请日: | 2007-03-07 |
公开(公告)号: | CN101038933A | 公开(公告)日: | 2007-09-19 |
发明(设计)人: | S·W·比德尔;D·K·萨达那;A·雷茨尼采克;J·P·德索萨;K·W·施瓦茨 | 申请(专利权)人: | 国际商业机器公司 |
主分类号: | H01L29/02 | 分类号: | H01L29/02;H01L29/78;H01L21/20;H01L21/336 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 于静;刘瑞东 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 控制 应变 半导体 层中位错 行为 结构 方法 | ||
【权利要求书】:
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