[发明专利]以LIGA工艺制造单层或多层金属结构体的方法及获得的结构体有效
| 申请号： | 200710085765.X | 申请日： | 2007-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN101038440A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | C·绍奇 | 申请（专利权）人： | 岛尼尔公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/20;G03F7/26;C25D5/02;G04B1/14;G04B33/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | liga 工艺 制造 单层 多层 金属结构 方法 获得 结构 | ||
【说明书】：
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