[发明专利]气体传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种气体传感器，所述气体传感器包括下述结构，所述结构包括基准极、检测极和设置在其间的固体电解质，所述基准极具有基准物质和电子导电性物质，以及所述检测极具有检测物质和电子导电性物质，其中

所述固体电解质、所述基准物质和所述检测物质由锂离子型导体构成。

2.权利要求1的气体传感器，其中

构成所述固体电解质的所述锂离子型导体包括La_(2/3)-XLi_3XTiO₃(0.05≤X≤0.15)。

3.权利要求2的气体传感器，其中

构成所述固体电解质的La_(2/3)-XLi_3XTiO₃是结晶的，并具有柱状晶体结构。

4.权利要求2的气体传感器，其中

构成所述固体电解质的La_(2/3)-XLi_3XTiO₃是无定形的。

5.权利要求1的气体传感器，其中

所述固体电解质是厚度为1～3μm的膜状物质。

6.权利要求1的气体传感器，其中

构成所述基准物质的所述锂离子型导体为从下组选择的至少一种物质：钴酸锂、镍酸锂、锰酸锂和磷酸铁锂。

7.权利要求1的气体传感器，其中

所述检测物质主要由碳酸锂组成，并还包含至少一种碱土金属的碳酸盐。

8.权利要求7的气体传感器，其中

所述检测物质还包含从下组选择的至少一种物质：磷酸锂、磷酰基氮化锂和钛酸锂。

9.权利要求1的气体传感器，其中

所述检测物质主要由硝酸锂组成，还包含至少一种碱土金属的硝酸盐。

10.权利要求9的气体传感器，其中

所述检测物质还包含从下组选择的至少一种物质：磷酸锂、磷酰基氮化锂和钛酸锂。

11.权利要求1的气体传感器，其中

所述检测物质主要由硫酸锂组成，还包含至少一种碱土金属的硫酸盐。

12.权利要求11的气体传感器，其中

所述检测物质还包含从下组选择的至少一种物质：磷酸锂、磷酰基氮化锂和钛酸锂。

13.气体传感器的制造方法，所述气体传感器包括下述结构，所述结构包括基准极、检测极和设置在其间的固体电解质，所述基准极具有基准物质和电子导电性物质，所述检测极具有检测物质和电子导电性物质，并且所述基准物质、所述检测物质和所述固体电解质由锂离子型导体构成，并且所述固体电解质包含La_(2/3)-XLi_3XTiO₃(0.05≤X≤0.15)作为所述锂离子型导体，该方法包括形成所述固体电解质的步骤、形成所述基准极的步骤和形成所述检测极的步骤，其中

形成所述固体电解质的步骤是在充分供给氧的气氛下形成La_(2/3)-XLi_3XTiO₃膜的步骤。

14.气体传感器的制造方法，所述气体传感器包括下述结构，所述结构包括基准极、检测极和设置在其间的固体电解质，所述基准极具有基准物质和电子导电性物质，所述检测极具有检测物质和电子导电性物质，并且所述基准物质、所述检测物质和所述固体电解质由锂离子型导体构成，并且所述固体电解质包含La_(2/3)-XLi_3XTiO₃(0.05≤X≤0.15)作为所述锂离子型导体，该方法包括形成所述固体电解质的步骤、形成所述基准极的步骤和形成所述检测极的步骤，其中

形成所述固体电解质的步骤是在露点不大于-40℃的干燥气氛下形成La_(2/3)-XLi_3XTiO₃膜的步骤，并且在形成所述固体电解质之后完全形成所述基准极和完全形成所述检测极的步骤在所述露点不大于-40℃的所述干燥大气下进行。