[发明专利]含有有机溶剂的空气的处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种连续进行含有有机溶剂的待处理空气的处理的含有有机溶剂的空气的处理方法，更具体地说涉及一种含有有机溶剂的空气的处理方法，在该方法中，同时且连续进行吸附除去工序、还原工序和燃烧工序，其中，该吸附除去工序利用安放着沸石等吸附剂的吸附构件吸附除去待处理空气中的有机溶剂；该还原工序将吸附了有机溶剂的该吸附构件还原；该燃烧工序使由于吸附构件的还原而产生的含有高浓度有机溶剂的空气中的有机溶剂燃烧。 

背景技术

从液晶、半导体、LED、等离子体显示器、树脂或涂料等的生产工序、或者印刷、涂装或清洗等设备排出含有例如卤化烃、甲苯、醋酸乙酯等有机溶剂的空气(以下也记载为含有有机溶剂的空气)。由于该有机溶剂有害，所以必须用适当的方法除去该生产工序或印刷、涂装或清洗等设备的排出空气中的有机溶剂。 

因此，以往一直都使用如下的含有有机溶剂的空气的处理方法：利用具有设置了安放着沸石等吸附剂的吸附构件的吸附装置、和填充了氧化催化剂的燃烧炉的含有有机溶剂的空气的处理系统，同时且连续地进行吸附除去工序、还原工序和燃烧工序，其中，该吸附除去工序把含有有机溶剂的待处理空气通入吸附构件，吸附并除去待处理空气中的该有机溶剂；该还原工序把还原空气通入吸附了有机溶剂的吸附构件，来还原该吸附构件；该燃烧工序把由该还原工序产生的浓缩空气供给燃烧炉，使该浓缩空气中的有机溶剂燃烧掉。 

参照图4来说明现有的含有有机溶剂的空气的处理方法，图4是现有的含有有机溶剂的空气的处理方法的流程图。图4中，现有的含有有机溶剂的空气的处理系统50具有：设置有被分割为吸附区和还原区的吸附构件的吸附装置41；填充着氧化催化剂的燃烧炉42。在该吸附装置41中，把待处理 空气I通入该吸附区，吸附并除去待处理空气I中的有机溶剂，同时把还原空气J通入还原区，还原吸附了有机溶剂的吸附构件。还原吸附构件用的还原空气J从该吸附装置41作为含有高浓度有机溶剂的浓缩空气而被排出，该浓缩空气通过浓缩空气送气管47向燃烧炉42供给。并且，在燃烧炉42中，使浓缩空气中的有机溶剂燃烧，从而除去浓缩空气中的有机溶剂，并且从该燃烧炉42把燃烧炉排放气体L排放出去。 

这样，用现有的含有有机溶剂的空气的处理方法，在吸附装置41处理待处理空气I而产生的吸附处理空气K、和该燃烧炉排放气体L都被排放到大气中。 

由于在该燃烧炉中用氧化催化剂燃烧有机溶剂，所以会引起极大的发热，而将该氧化催化剂烤至高温。通常，采用白金催化剂作为该氧化催化剂，所以，该氧化催化剂的使用温度的上限是500℃，一旦氧化催化剂的温度超过500℃，就会引起该催化剂的性能下降(热劣化)。因此，为了使氧化催化剂的温度不超过500℃，必须控制该氧化催化剂的温度。测定燃烧炉的排放气体的温度，根据排放气体的温度来调节供给该燃烧炉的空气的温度，从而控制氧化催化剂的温度。供给燃烧炉的空气的温度通常是250～300℃。 

在上述现有的含有有机溶剂的空气的处理方法中，一旦供给燃烧炉的空气中的有机溶剂的浓度过高，就不能在燃烧炉中使有机溶剂完全燃烧。也就是说，用燃烧炉可处理的空气中的有机溶剂的浓度(含量)存在上限。 

从该生产工序等排放出来的含有有机溶剂的空气、即待处理空气中的有机溶剂的浓度当然会变动，当该待处理空气中的有机溶剂的浓度变高时，在燃烧炉中被处理的空气中的有机溶剂的浓度也变高。在供给燃烧炉的空气中的有机溶剂的浓度上升小的情况下，取入外部气体而使有机溶剂的浓度降下来，可以降到燃烧炉的处理极限浓度以下，从而来应对。但是，因工序故障引起的浓度变动的浓度上升显著，所以必须取入极多的外部气体来稀释，然而燃烧炉的处理量有限，所以被取入的外部气体的量有限，因此存在通过取入外部气体进行稀释而无法应对的情况。 

这种情况下，由于超过该燃烧炉的处理极限浓度的含有有机溶剂的空气被送到燃烧炉中，所以在该燃烧炉中不能完全燃烧有机溶剂，未燃烧的有机溶剂混入到燃烧炉的排放气体中。因此，存在含有未燃烧的有机溶剂的燃烧炉的排放气体被排放到大气中的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可以应对待处理空气中的有机溶剂浓度的急剧变动的含有有机溶剂的空气的处理方法，也就是提供这样一种含有有机溶剂的空气的处理方法，即使有机溶剂的浓度急剧变动也不会增加向大气中排放的处理后的空气中的有机溶剂的含量。