[发明专利]用于化学机械抛光的三维网络结构有效
| 申请号： | 200710084080.3 | 申请日： | 2007-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN101024277A | 公开（公告）日： | 2007-08-29 |
| 发明（设计）人： | G·P·马尔多尼 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D17/00 | 分类号： | B24D17/00;B24B29/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 郭辉 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械抛光 三维 网络 结构 | ||
【权利要求书】：
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