[发明专利]悬臂式高速透平真空泵及其抽真空方法

权利要求书

1、一种悬臂式高速透平真空泵，其特征在于：它包括齿轮增速箱(9)、独立泵头和转子，齿轮增速箱(9)采用单级增速，大齿轮(12)上的轴与原动机联接；独立泵头分立在齿轮增速箱(9)两侧或单侧，独立泵头为分体式结构，包括吸入口(1)、蜗壳内体(5)、叶轮静轮盖(6)、蜗壳(4)和气封(7)，吸入口(1)和叶轮静轮盖(6)安装在蜗壳内体(5)上且三者组成一体，并镶嵌于蜗壳(4)内，由蜗壳内体(5)和蜗壳(4)腔体组合形成扩压器和介质出流流道，气封(7)通过法兰安装在蜗壳(4)侧面，在蜗壳后壁上安装有扩压器叶片(13)；转子包括齿轮轴(10)、止推盘(11)、离心叶轮(3)和紧固螺钉(2)，由齿轮增速箱(9)上的滑动轴承(8)支撑并由大齿轮(12)带动小齿轮增速传动，使齿轮轴(10)带动离心叶轮(3)以10000r/min至30000r/min的转速旋转，止推盘(11)固定安装在齿轮轴(10)上并且位于大齿轮(12)两侧，离心叶轮(3)悬臂安装在齿轮轴(10)末端。

2、根据权利要求1所述的一种悬臂式高速透平真空泵，其特征在于：所述离心叶轮(3)为半开式结构。

3、根据权利要求2所述的一种悬臂式高速透平真空泵，其特征在于：所述离心叶轮(3)的轮盘与叶片采用焊接结构。

4、根据权利要求1所述的一种悬臂式高速透平真空泵，其特征在于：所述扩压器叶片(13)的角度可调。

5、根据权利要求1所述的一种悬臂式高速透平真空泵，其特征在于：所述离心叶轮(3)与齿轮轴(10)采用锥面过盈配合并加紧固螺钉(2)联接。

6.一种使用根据权利要求1所述的真空泵的悬臂式高速透平抽真空方法，其特征在于：通过齿轮轴(10)带动离心叶轮(3)以所述的转速旋转，使气体从吸入口(1)高速吸入，经具有300m/s至500m/s线速度的离心叶轮(3)的流道、扩压器，最终形成80℃至160℃的高温气体从蜗壳(4)的出口高速排出，从而在吸入口(1)和离心叶轮(3)的入口形成-30kPa至-70kPa真空度，实现真空抽取。