[发明专利]精密双面抛光机的气动加载装置

权利要求书

1、一种精密双面抛光机的气动加载装置，包括机架、安装在机架上的气缸，所述气缸带有活塞杆，所述的活塞杆与上抛光盘连接，其特征在于：所述气缸连接用于调节加载压力大小的压力调节阀，所述压力调节阀连接气动气源，在所述的活塞杆与上抛光盘的连接处安装压力传感器；所述的气动加载装置还包括用于根据工件的加工条件制定的加载压力控制曲线控制载荷大小，以及用于各个抛光阶段，接收压力传感器的信号，并将压力传感器的压力值与预设各个抛光阶段的工作压力比较，选择性地向压力调节阀发出增大或减小压力指令的上抛光盘压力控制模块；所述的上抛光盘压力控制模块连接压力调节阀、压力传感器。

2、如权利要求1所述的精密双面抛光机的气动加载装置，其特征在于：所述的气动加载装置还包括用于检测上抛光盘位置的位移传感器，所述的位移传感器连接用于依照位移传感器的信号判定上抛光盘是否到达工作位置的上抛光盘位置控制模块。

3、如权利要求1或2所述的精密双面抛光机的气动加载装置，其特征在于：所述气缸包括上室、下室以及活塞，活塞连接所述的活塞杆，所述上室与上气管连通，所述下室与下气管连通，所述的上气管、下气管分别与大气连通、同时与压力调节阀连通。

4、如权利要求3所述的精密双面抛光机的气动加载装置，其特征在于：于：所述压力调节阀的调节装置包括步进电机、偏心机构，所述的步进电机连接上抛光盘压力控制模块的控制端，所述步进电机的输出轴连接偏心机构，所述偏心机构与压力调节阀的阀芯传动连接。