[发明专利]一种气敏传感器标定和可靠性测试系统

权利要求书

1. 一种气敏传感器标定和可靠性测试系统，其特征在于，该系统包括进气单元、气体流量监控及组分控制单元、气体混合腔(5)、真空测试腔(6)和传感器电参量测量装置(16)；

所述进气单元中的气体在气体流量监控及组分控制单元的控制下进入气体混合腔(5)进行预混合，然后进入真空测试腔(6)；

所述真空测试腔(6)中放置有待测气敏传感器(15)，所述传感器电参量测量装置(16)与真空测试腔(6)连接，用于测试真空测试腔(6)中待测气敏传感器(15)的性能。

2. 根据权利要求1所述的气敏传感器标定和可靠性测试系统，其特征在于，所述进气单元包括调压减压阀和压力钢瓶(1)，用于控制压力钢瓶(1)中的气体或挥发性液体蒸汽的压力，进气单元通过气体流量监控及组分控制单元与气体混合腔(5)相连；

所述压力钢瓶的数量至少为2个，每个压力钢瓶中存放一种气体或挥发性液体蒸汽，且每个压力钢瓶上安装有一个调压减压阀。

3. 根据权利要求1所述的气敏传感器标定和可靠性测试系统，其特征在于，所述气体流量监控及组分控制单元包括质量流量计(2)、控制电路(3)和计算机(4)，用于控制来自进气单元的气体流量、压力及组分，实现对不同气体的选择切换。

4. 根据权利要求1所述的气敏传感器标定和可靠性测试系统，其特征在于，所述气体混合腔(5)通过特种不锈钢管道接收进气单元输入的气体，对该气体进行预混合，然后将预混合后的气体输出给真空测试腔(6)。

5. 根据权利要求1所述的气敏传感器标定和可靠性测试系统，其特征在于，所述真空测试腔(6)具有可开关的密封盖，盖子下面有环形橡胶密封圈，该真空测试腔(6)包括温控装置、高/低压真空计(7)、至少一个传感器电参数测量引线柱(8)、进气口(9)和出气口(10)。

6. 根据权利要求5所述的气敏传感器标定和可靠性测试系统，其特征在于，所述温控装置包括加热板(12)、热电偶(13)和可编程温度控制器(14)；

所述热板的可调温度范围为0到400摄氏度，温度误差为±0.2摄氏度，热板上放置气敏传感器，通过热板来精确设置传感器的温度；

所述传感器电参数测量引线柱(8)的数量为8个，所述可编程温度控制器(14)实现的温度变化过程的状态有64种。

7. 根据权利要求1所述的气敏传感器标定和可靠性测试系统，其特征在于，所述真空测试腔(6)为圆柱形形状，高度为5.2cm，直径为29cm。

8. 根据权利要求1所述的气敏传感器标定和可靠性测试系统，其特征在于，所述传感器电参量测量装置(16)为一台外接式半导体参数测试仪，用于测量待测气敏传感器(15)的IV特性、阻抗特性、感抗特性。

9. 根据权利要求1所述的气敏传感器标定和可靠性测试系统，其特征在于，该系统进一步包括一真空单元(11)，用于抽出真空测试腔(6)中的气体，将真空测试腔(6)变为真空状态。

10. 根据权利要求9所述的气敏传感器标定和可靠性测试系统，其特征在于，所述真空单元(11)与真空测试腔(6)的出气口(10)连接，为高速真空泵。