[发明专利]一种去除三氟化氮气体中四氟化碳杂质的方法

权利要求书

1.一种去除三氟化氮气体中四氟化碳杂质的方法，其特征在于包括下列步骤：使含CF₄杂质的原料气体由阀门(17)进入I号精馏塔，共沸剂HCl经另一阀门(7)进入I号精馏塔(1)，I号精馏塔(1)塔釜温为-73℃～-120℃，顶温为-80℃～-120℃，塔釜压力为0.1MPa～1.6MPa，共沸剂HCl与原料气体在I号精馏塔(1)内进行气液接触，共沸剂HCL与CF₄形成最低共沸物从I号精馏塔(1)顶采出，分两部分：一部分气体从I号精馏塔(1)顶的冷凝器(4)经阀门回流，一部分气体经阀门进入II号精馏塔(2)；II号精馏塔(2)的压力为0.16MPa～1.5MPa，塔底温度为-75℃～-130℃，顶温为-85℃～-130℃，由II号精馏塔(2)的塔顶得到少量CF₄，II号精馏塔(2)的塔底共沸剂HCl经阀门通过管路回收至I号精馏塔(1)再利用；I号精馏塔(1)的塔底部共沸剂HCl 与NF₃的混合物经管路进入III号精馏塔(3)，III号精馏塔(3)的压力为0.17MPa～1.4MPa，塔底温度为-78℃～-130℃，顶温为-88℃～-130℃，塔顶得到CF₄杂质含量20ppm以下的产品气体，塔底的共沸剂HCl由阀门经管路回收至I号精馏塔(1)再利用。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的原料气体中，NF₃摩尔百分含量在90％以上；CF₄的含量少于8％；共沸剂HCl与原料气体的比例为1∶5～100。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的原料气体中，NF₃摩尔百分含量在95％～99％之间；CF₄的含量在5％以下。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的I号、II号和III号精馏塔(1、2、3)的直径为20mm～100mm，高度为2m～10m，内部装有镍、不锈钢、蒙乃尔或者上述任何一种以上填料的精馏柱，填料的比表面积为80m²/m³～500m²/m³，填料形式为规整或者散堆。