[发明专利]扫描探针显微镜压电扫描管的X－Y二维平面扫描驱动系统

权利要求书

1.一种扫描探针显微镜压电扫描管的X-Y二维平面扫描驱动系统，包括四分电极式压电 扫描管、起始点定位模块、高压放大模块、高压直流电源、控制器、驱动信号发生模 块、快轴和慢轴切换模块，驱动信号发生模块包括正弦信号发生电路和第一数字/模 拟转换通道和第二数字/模拟转换通道，正弦信号发生电路包括正弦信号发生器以及 与其相连的幅值调节模块，控制器控制正弦信号发生器产生正弦信号，该正弦信号经 过幅值调节模块的调节后输出，第一数字/模拟转换通道将控制器发送的锯齿波数字 信号转换成锯齿波信号，由控制器选择经过幅值调节的正弦信号和锯齿波信号中的一 种作为快轴信号，第二数字/模拟转换通道将控制器发送的慢轴数字信号转换成慢轴 信号，快轴和慢轴切换模块的输入端接入所述的快轴信号和慢轴信号，在控制器的控 制下可选择地切换输出X轴驱动信号和Y轴驱动信号，由快轴和慢轴切换模块选通的 X轴驱动信号和Y轴驱动信号分别经过所述的高压放大模块的放大后加载在压电扫描 管相应的X轴或Y轴上。

2.权利要求1所述的扫描探针显微镜压电扫描管的X-Y二维平面扫描驱动系统，其特征 在于，所述正弦信号发生器为ML2035，幅值调节模块包括放大器和能够在控制器控 制下调节放大倍数的数字电位器MAX5484。

3.根据权利要求1或2任意一项所述的扫描探针显微镜压电扫描管的X-Y二维平面扫描 驱动系统，其特征在于，所述快轴和慢轴切换模块由多路选择开关MAX4053构成。