[发明专利]无氧溶胶－凝胶反应制备致密碳氮化硅陶瓷的方法

权利要求书

1.一种无氧溶胶-凝胶反应制备致密碳氮化硅陶瓷的方法，其特征在于包括以下具体过程：采用三氯氢硅烷、三氯甲基硅烷、三氯乙烯硅烷或三氯苯基硅烷与三甲基硅基碳化二亚酰胺、三乙烯基硅基碳化二亚酰胺或三苯基硅基碳化二亚酰胺按摩尔比为12∶1～1∶12混合作前驱体，将混合前驱体溶于甲苯、二甲苯或四氢呋喃中，按甲苯、二甲苯或四氢呋喃与氯硅烷摩尔比100∶1～1∶1配制成溶液，在10～150℃下氩气、氮气或它们的混合气氛中反应形成凝胶，将凝胶在20～300℃下干燥，所得干凝胶在500～2000℃下热裂解，升温速率1～100℃/min，保温时间5min～20h，以降温速率1～100℃/min降至20～30℃，制得致密碳氮化硅陶瓷。

2.按权利要求1所述的无氧溶胶-凝胶反应制备致密碳氮化硅陶瓷的方法，其特征在于：三氯氢硅烷、三氯甲基硅烷、三氯乙烯硅烷或三氯苯基硅烷与三甲基硅基碳化二亚酰胺、三乙烯基硅基碳化二亚酰胺或三苯基硅基碳化二亚酰胺摩尔比为3∶1～1∶3；甲苯、二甲苯或四氢呋喃溶剂与氯硅烷摩尔比10∶1～1∶1。