[发明专利]TFT基板玻璃锑、钡、砷、锌、锶、锆快速测定方法

说明书

技术领域

本发明属于金属测试分析技术领域，特别涉及到一种TFT基板玻璃锑、钡、砷、锌、锶、锆快速测定方法。

背景技术

TFT基板玻璃是一种应用在薄膜电晶体液晶显示器，即TFT-LCD上的商业用基板玻璃，随着电子业、数字化电子的飞速发展，对TFT基板的需求越来越多。目前我国已成为TFT显示产品的重要生产基地，但到现在为止，我国还没有一家与之配套的TFT基板玻璃生产企业。

TFT基板玻璃是一种与一般的钠钙硅浮法玻璃完全不同的一种新品种，它蕴涵着玻璃行业的顶尖技术，TFT基板玻璃是通过加入Zr、Sr、Ba等不同元素、不同配比来调节玻璃的一些物化性能，使其适合TFT-LCD的要求，满足TFT-LCD加工过程中的任何性能要求。这就需要对TFT基板玻璃中各元素能够进行准确测定。目前国内还没有生产TFT玻璃的厂家，也没有测试TFT玻璃的标准，没有测试TFT基板玻璃的方法。

TFT基板玻璃组分中元素种类较多，各元素在分析测试中互相干扰，分析较为困难。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供一种TFT基板玻璃锑、钡、砷、锌、锶、锆快速测定方法，通过选择分析谱线、处理样品方法和消除干扰因素等实验，建立了利用全谱直读电感耦合等离子体发射光谱仪同时测定TFT基板玻璃锑、钡、砷、锌、锶、锆的百分含量，分析一个TFT基板玻璃样品可在6小时内作出，具有快速、简便、准确度高、精密度好等优点，分析误差满足常规化学分析法的误差要求。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

所述的TFT基板玻璃锑、钡、砷、锌、锶、锆快速测定方法，其测定依据电感合等离子体发射光谱法检测原理进行，方法包含实验条件、样品处理、工作曲线绘制、干扰及其消除，建立方法的线性关系情况、检出限情况和准确性情况，其中

—、实验条件

1)仪器选择：选用电感耦合等离子体发射光谱仪作实验仪器，

使用该仪器的最佳参数设定为：

射频功率：1.0KW；冷却气流量：15L/min；辅助气流量：1.5L/min；雾化气流量：0.80L/min；泵速：25r/min；稳定时间：15s；样品提升时间：30s；雾化器清洗时间：10s；重复测量次数：3次；

2)酸度选择：改变HCl浓度为1％、2％、3％、4％，5％、6％进行峰值扫描，观察不同浓度的HCl介质对各元素发射信号的影响，结果表明，6％以下的HCl酸度基本上不影响各元素的测定；

3)分析谱线选择：从实验仪器提供的每种元素的几十条谱线中，筛选出数条适合TFT基板玻璃中锑、钡、砷、锌、锶、锆待测元素测定的谱线，比较谱图、背景轮廓和强度值，选出背景低、信背比高、干扰小的谱线为待测元素的谱线，其中锑--206.834nm；钡--233.527nm；砷--193.696nm；锌--213.857nm；锶--215.283nm；锆--343.823nm；

二、样品处理

1)试样处理：将TFT基板玻璃试样研磨至能通过孔径为0.08mm筛并贮存于带磨石筛的广口瓶中；称取约0.10～0.20克，精确至0.0001克，在100～108℃的恒温干燥箱中烘干不少于1小时，再置于铂金皿中，用水润湿，加入0.5～1.5ml高氯酸和5～20ml氢氟酸，于低温电炉上蒸发至白烟冒尽；冷却，加2.5～12.5ml盐酸及适量蒸馏水，加热溶解；冷却后，移入250ml容量瓶，用蒸馏水稀释至刻度，摇匀待用；

2)空白试液：向铂金皿中加入0.5～1.5ml高氯酸和5～20ml氢氟酸，于低温电炉上蒸发至白烟冒尽；冷却，加2.5～12.5ml盐酸及适量蒸馏水，加热溶解；冷却后，移入250ml容量瓶，用蒸馏水稀释至刻度，摇匀待用；

3)测量：测定空白溶液和标准溶液，建立校准曲线，然后对试样溶液进行测定，仪器自动计算出试样中锑、钡、砷、锌、锶、锆的百分含量；

三、工作曲线绘制

1)标准系列溶液的配置：分别移取锑、钡、砷、锌、锶、锆混合标液于6个100ml的容量瓶中，并依次加入2.5～12.5ml HCl，用蒸馏水稀释至刻度，使得标准系列溶液中锑、钡、砷、锌、锶、锆的浓度如下

                  锑          钡           砷         锌          锶             锆

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