[发明专利]室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：采用射频磁控溅射法，以溅射仪为沉积设备，以纯度≥99.0％的ZnO粉末为原料制作的ZnO陶瓷靶材作为阴极溅射靶材；对溅射仪抽真空使本底真空度达1.0×10^-4～1.0×10^-5Pa；然后向溅射仪中通入氩气和氧气，使溅射气压为2.7Pa，调节靶基距为40～70mm；利用溅射气体氩气放电产生等离子体轰击ZnO陶瓷靶材，产生的溅射粒子在电磁场作用下沉积在衬底基片上形成ZnO薄膜；对ZnO薄膜在气氛环境中经退火处理，得到具有室温下发射蓝光和紫光的氧化锌薄膜；所用氩气和氧气是99.99％的高纯度气体，氩气和氧气的质量流量比为1∶1～7∶1；上述退火处理是在100℃～400℃温度下进行。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征是：所用阴极溅射靶材是采用传统的电子陶瓷工艺方法制作的。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征是：上述退火处理是在真空、氮气、空气或氧气环境中进行。

4.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征是：上述退火处理是将沉积在衬底基片上形成ZnO薄膜以1.5℃/s的升温速率从室温升至100℃～400℃，再保温1小时，然后自然冷却至室温。