[发明专利]用于绝对位置测量的绝对型圆容栅传感器测量装置

权利要求书

1.用于绝对位置测量的绝对型圆容栅传感器测量装置，含有圆容栅传感器、测量信号处理部分、数据处理部分和显示部分，其特征在于：圆容栅传感器含一个粗分传感器和一个细分传感器，细分传感器节距分值大于粗分传感器的二个分辨率，粗、细分传感器有共同的起始零点，栅极各自独立，有相对固定的物理位置，无电气相干性；其在单节距测量范围内有唯一的绝对位移量值。

2.根据权利要求1所述的用于绝对位置测量的绝对型圆容栅传感器测量装置，其特征在于：圆容栅传感器为反射式二片式结构，定栅板上有同板同心的与粗分传感器对应的粗分发射极和接收极及与细分传感器对应的细分发射极和接收极，动栅板上与发射极、接收极对应的投影位置上设有粗分反射极和细分反射极、屏蔽极。

3.根据权利要求1所述的用于绝对位置测量的绝对型圆容栅传感器测量装置，其特征在于：圆容栅传感器为透射三片式结构，发射板上有同板同心的与粗分传感器对应的粗分发射极和与细分传感器对应的细分发射极，接收板上与发射极对应的投影位置上设有粗分接收环和细分接收环，屏蔽隔板上开有与粗分发射极和细分发射极相对应的透射窗口。

4.根据权利要求1所述的用于绝对位置测量的绝对型圆容栅传感器测量装置，其特征在于：测量信号处理部分容栅IC分别有粗分信号处理电路和细分信号处理电路。

5.根据权利要求1所述的用于绝对位置测量的绝对型圆容栅传感器测量装置，其特征在于：在只有一个测量信号处理电路的测量信号处理部分容栅IC与圆容栅传感器之间有对粗分接收信号、细分接收信号进行选通并送往测量信号处理部分容栅IC的开关电路。

6.根据权利要求1所述的用于绝对位置测量的绝对型圆容栅传感器测量装置，其特征在于：数据处理部分有含I/O、RAM、ROM、CPU的微处理器。微处理器只读取容栅IC输出的粗、细分单节距内的位移数据，并作加、减脉冲当量数的计算处理，以强制保证其准确组合粗、细分传感器绝对位置数据。

7.根据权利要求1所述的用于绝对位置测量的绝对型圆容栅传感器型测量装置，其特征在于：有计量转动圈数的并将计量数据传送给数据处理部分的装置。