[发明专利]用于啁啾脉冲放大光谱整形的介质膜结构反射镜

权利要求书

1.一种用于啁啾脉冲放大光谱整形的介质膜结构反射镜，其特征在于，包括透明基板(1)，高反射膜系(2)，微浮雕结构(3)，外层保护层(4)，高反射膜系为高折射率膜层(5)与低折射率膜层(6)相互交替组成的多层介质膜系，高反射膜系的高折射率膜层与低折射率膜层均与微浮雕结构紧密搭界。

2.根据权利要求1所述的用于啁啾脉冲放大光谱整形的介质膜结构反射镜，其特征在于，所述的高折射率膜层(5)与低折射率膜层(6)的厚度均为λ/4，或λ/4奇数倍厚度，或折射率渐变膜层厚度。

3.根据权利要求1所述的用于啁啾脉冲放大光谱整形的介质膜结构反射镜，其特征在于，所述的微浮雕结构(3)可以是三角形，或多边形，或棱角形，或方形，或圆形，或任意形状构成的多种形态结构的衍射元件。

4.根据权利要求1或3所述的用于啁啾脉冲放大光谱整形的介质膜结构反射镜，其特征在于，所述的微浮雕结构材质可以是微镜高透射膜系介质，或空气介质(7)，或玻璃微浮雕介质(8)，或其它透明介质如半导体介质(9)。

5.根据权利要求1或4所述的用于啁啾脉冲放大光谱整形的介质膜结构反射镜，其特征在于，所述的微浮雕结构的微镜高透射膜系，可以有多种结构，其标准的多层介质膜按低折射率膜层(6)与高折射率膜层(5)的顺序周期交替组成。

6.根据权利要求1或2所述的用于啁啾脉冲放大光谱整形的介质膜结构反射镜，其特征在于，所述高反射膜系(2)可以有多种结构，其标准的多层介质膜按高折射率膜层(5)与低折射率膜层(6)的顺序周期交替组成。

7.根据权利要求1所述的用于啁啾脉冲放大光谱整形的介质膜结构反射镜，其特征在于，透明基板(1)为对工作带宽的波长透明的膜层依托板材，要求光学平整度且折射率尽量接近空气，可用K9光学玻璃，或石英材料，也可由其他材料替代，如对红外、近红外透明的半导体材料。

8.根据权利要求1所述的用于啁啾脉冲放大光谱整形的介质膜结构反射镜，其特征在于，所述的反射镜可以是微镜介质膜结构反射镜的结构反射镜。