[发明专利]一种防止母液粘舟的液相外延石墨舟

权利要求书

1.本发明的一种防止母液粘舟的液相外延石墨舟，包括：底座(1)、底板(2)、滑移块(3)、盖板(4)、垫片(5)，其特征在于：

A它还有一个回收残余母液(8)的回收舟(6)；

B底座(1)的中间开有放置底板(2)的凹槽，它的一端开有一个长方形的固定孔(101)；

C底板(2)中间开有放置回收舟(6)的空腔(201)与放置衬底(7)的空腔(202)，其上表面还设置有控制滑移块(3)移动方向的导向导轨(203)；

D滑移块(3)中间开有数个用来放置不同组分的薄膜生长母液(8)的等间隔的母液槽(301)；母液槽(301)的上端开有用来镶嵌盖板(4)的凹槽(302)；

E垫片(5)的厚度是可调的。

2.根据权利要求1所述的一种防止母液粘舟体系的液相外延石墨舟，其特征在于：所说的底板(2)上的回收舟空腔(201)离底板(2)左侧的距离应大于滑移块3长度的1/2；回收舟空腔(201)的形状与回收舟(6)一致，并且其长、宽、高三维尺寸只能略大于回收舟(6)尺寸0.1mm～0.15mm；衬底空腔(202)尺寸为：

长＝Y+2mm

宽＝X+1mm

其中：X代表母液槽(301)的宽度，Y代表母液槽(301)的长度。

3.根据权利要求1所述的一种防止母液粘舟体系的液相外延石墨舟，其特征在于：所说的回收舟(6)的容积大于母液槽(301)体积的2倍。

4.根据权利要求1所述的一种防止母液粘舟体系的液相外延石墨舟，其特征在于：所说的滑移块(3)上的各个母液槽(301)之间是等间距的，其不等间距误差不大于0.1mm。

5.根据权利要求1所述的一种防止母液粘舟体系的液相外延石墨舟，其特征在于：所说的垫片(6)的厚度应保证衬底(7)与滑移块(3)之间的间隙不大于0.15mm。