[发明专利]流体流速稳定装置及研磨液供给装置

权利要求书

1.一种流体流速稳定装置，其特征在于：包括缓冲体和壳体，所述缓冲体的截面积大于所述壳体，所述缓冲体顶部具有流体入口，所述壳体底部具有流体出口，所述壳体内具有调整体，所述调整体包括上端固定的弹性连接部件，以及与弹性连接部件的下端相连的阀塞，且所述弹性连接部件以及阀塞与所述壳体之间均具有间隙，所述调整体内未形成封闭的空间，所述流体通过流体入口流入所述缓冲体内，再流入调整体及壳体内，并直接由调整体的周边经由所述壳体底部向所述流体出口流出。

2.如权利要求1所述的流体流速稳定装置，其特征在于：所述弹性连接部件由至少两根弹簧组成。

3.如权利要求2所述的流体流速稳定装置，其特征在于：所述弹簧固定于所述缓冲体的底部。

4.如权利要求2所述的流体流速稳定装置，其特征在于：所述弹簧为不锈钢材料。

5.如权利要求1所述的流体流速稳定装置，其特征在于：所述弹性连接部件由弹性纤维材料制成。

6.如权利要求1或5所述的流体流速稳定装置，其特征在于：所述弹性连接部件固定于所述缓冲体的顶部或所述壳体的侧壁上。

7.如权利要求1所述的流体流速稳定装置，其特征在于：所述缓冲体和所述壳体均为圆柱体形状。

8.如权利要求7所述的流体流速稳定装置，其特征在于：所述壳体底部为弧状。

9.如权利要求1所述的流体流速稳定装置，其特征在于：所述调整体的阀塞底部的形状与所述壳体底部的形状相匹配。

10.如权利要求1所述的流体流速稳定装置，其特征在于：所述阀塞由陶瓷、塑料或树脂制成；所述壳体由陶瓷、塑料或树脂制成。

11.如权利要求1所述的流体流速稳定装置，其特征在于：所述缓冲体的流体入口处还具有第一接口，所述壳体的流体出口处还具有第二接口。

12.一种研磨液供给装置，与研磨装置相连，包括研磨液容器和供给泵，以及分别与供给泵和所述研磨装置相连的流体流速稳定装置，其特征在于：所述流体流速稳定装置包括缓冲体和壳体，所述缓冲体的截面积大于所述壳体，所述缓冲体顶部具有流体入口，所述壳体底部具有流体出口，所述壳体内具有调整体，所述调整体包括上端固定的弹性连接部件，以及与弹性连接部件的下端相连的阀塞，且所述弹性连接部件以及阀塞与所述壳体之间均具有间隙，所述调整体内未形成封闭的空间，所述流体通过流体入口流入所述缓冲体内，再流入调整体及壳体内，并直接由调整体的周边经由所述壳体底部向所述流体出口流出。

13.如权利要求12所述的研磨液供给装置，其特征在于：所述弹性连接部件由至少两根弹簧组成。

14.如权利要求13所述的研磨液供给装置，其特征在于：所述弹簧固定于所述缓冲体的底部。

15.如权利要求13所述的研磨液供给装置，其特征在于：所述弹簧为不锈钢材料。

16.如权利要求12所述的研磨液供给装置，其特征在于：所述弹性连接部件由弹性纤维材料制成。

17.如权利要求12或16所述的研磨液供给装置，其特征在于：所述弹性连接部件固定于所述缓冲体的顶部或所述壳体的侧壁上。

18.如权利要求12所述的研磨液供给装置，其特征在于：所述缓冲体和所述壳体均为圆柱体。

19.如权利要求18所述的研磨液供给装置，其特征在于：所述壳体的底部为弧状。

20.如权利要求12所述的研磨液供给装置，其特征在于：所述调整体的阀塞底部的形状与所述壳体底部的形状相匹配。

21.如权利要求12所述的研磨液供给装置，其特征在于：所述阀塞由陶瓷、塑料或树脂制成；所述壳体由陶瓷、塑料或树脂制成。

22.如权利要求12所述的研磨液供给装置，其特征在于：所述缓冲体的流体入口处还具有第一接口，所述壳体的流体出口处还具有第二接口。