[发明专利]铜及其合金的复合离子注入表面改性的方法

权利要求书

1.一种铜或其合金的复合离子注入表面改性的方法，其特征在于，具体包括如下步骤：

步骤一：首先对铜或者铜合金表面进行研磨、抛光，再用去离子水和有机液对样品表面进行清洗，烘干后备用；

步骤二：采用复合离子注入工艺，将铜或其合金放入离子注入复合镀膜设备内，实现在铜或其合金表面依次注入金属元素Zn和Ti或依次注入Al和Ti，然后注入非金属元素N或B；

所述的复合离子注入工艺，具体步骤为：

1).将步骤一处理后的铜或者铜合金放入离子注入复合镀膜设备的真空室内，用机械泵和分子泵组合将其抽至真空度为1×10^-3Pa～5×10^-3Pa；

2).设定加速电压为30kV～70kV，束流密度为20μA/cm²～40μA/cm²；

3).对铜或其合金基体进行离子注入，使注入剂量控制在1×10¹⁷离子数/厘米²～6×10¹离子数/厘米²范围内。

2.如权利要求1所述的铜或其合金的复合离子注入表面改性的方法，其特征是，步骤一中，所述的有机液，是指：无水乙醇或无水丙酮。

3.如权利要求1所述的铜或其合金的复合离子注入表面改性的方法，其特征是，步骤一中，所述的抛光，至1200#-1500#。