[发明专利]挠性静电补偿式静电加矩流体微陀螺仪

权利要求书

1、一种挠性静电补偿式静电加矩流体微陀螺仪，包括：转子(1)、挠性梁(2)、定子(3)，其特征在于，转子(1)与定子(3)通过挠性梁(2)连接为一体；

所述的转子(1)包括第一基体(8)和环形腔体(9)，环形腔体(9)位于第一基体(8)内；转子(1)中的环形腔体(9)中注有金属流体，环形腔体(9)中的金属流体在旋转驱动线圈(4)所施加的旋转磁场的作用下旋转，产生角动量；

所述的定子(3)包括第二基体(10)、旋转驱动线圈(4)、检测电极(5)、反馈加矩静电电极(6)与挠性补偿静电电极(7)，在第二基体(10)上由内到外分布着八个旋转驱动线圈(4)、八个检测电极(5)、八个反馈加矩静电电极(6)、八个挠性补偿静电电极(7)，八个旋转驱动线圈(4)在圆周方向上呈对称分布，旋转驱动线圈(4)位于定子(3)的最靠近中心的位置，在旋转驱动线圈(4)的外侧分布着八个检测电极(5)，八个检测电极在圆周方向上呈对称分布，四对反馈加矩静电电极(6)和四对挠性补偿静电电极(7)在圆周方向都呈对称分布。

2、根据权利要求1所述的挠性静电补偿式静电加矩流体微陀螺仪，其特征是，所述转子(1)上的环形腔体(9)的内径与定子(3)的第二基体(10)上的旋转驱动线圈(4)在以定子(3)中心为中心的圆周方向上的内径相同。

3、根据权利要求1所述的挠性静电补偿式静电加矩流体微陀螺仪，其特征是，所述的挠性梁(2)会随着转子(1)和定子(3)相对位置的偏移而发生相应的变形。

4、根据权利要求1所述的挠性静电补偿式静电加矩流体微陀螺仪，其特征是，所述的定子(3)，其中反馈加矩静电电极(6)、挠性补偿静电电极(7)处于同一个以定子(3)中心为中心的圆环上，两个紧邻的反馈加矩静电电极(6)形成反馈加矩静电电极对，两个紧邻的挠性补偿静电电极(7)也形成挠性补偿静电电极对，反馈加矩静电电极对与挠性补偿静电电极对彼此交替，反馈加矩静电电极(6)、挠性补偿静电电极(7)的内径和外径分别相同。

5、根据权利要求1或2所述的挠性静电补偿式静电加矩流体微陀螺仪，其特征是，所述环形腔体(9)的外径与定子(3)的第二基体(10)上的旋转驱动线圈(4)在以定子(3)中心为中心的圆周方向上的外径相同。

6、根据权利要求1或2所述的挠性静电补偿式静电加矩流体微陀螺仪，其特征是，相邻旋转驱动线圈(4)的电流相位差为90⁰。

7、根据权利要求1所述的挠性静电补偿式静电加矩流体微陀螺仪，其特征是，所述反馈加矩静电电极(6)根据检测电极(5)检测到转子(1)偏离水平位置的情况，在反馈加矩静电电极(6)上施加电压，通过静电感应，将在转子(1)上产生感应电荷，从而在反馈加矩静电电极(6)和转子(1)之间产生静电力使得转子(1)恢复到平衡位置，实现对转子(1)的反馈控制。

8、根据权利要求1所述的挠性静电补偿式静电加矩流体微陀螺仪，其特征是，所述挠性梁(2)的结构为两头大、中间小的圆柱体，且圆柱体的两头大小相同，挠性梁(2)的两端分别与转子(1)和定子(3)的中心相连接。

9、根据权利要求1或2所述的挠性静电补偿式静电加矩流体微陀螺仪，其特征是，所述转子(1)的基体材料为金属镍。