[发明专利]钛酸镧单晶及其生长技术有效
申请号: | 200710041328.8 | 申请日: | 2007-05-28 |
公开(公告)号: | CN101063232A | 公开(公告)日: | 2007-10-31 |
发明(设计)人: | 吴宪君;李新华;徐家跃;张道标;顾宝林 | 申请(专利权)人: | 上海晶生实业有限公司 |
主分类号: | C30B29/32 | 分类号: | C30B29/32;C30B15/08 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 余岚 |
地址: | 200443上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 钛酸镧单晶 及其 生长 技术 | ||
1.一种坩埚下降法生长钛酸镧La2Ti2O7单晶的方法,该方法包括以下步 骤:
(1)采用TiO2和La2O3作为初始原料,两者的用量比依照La2Ti2O7的化学 组成,混合均匀,压块;
(2)将装有步骤(1)所得压块的坩埚移至真空下降炉内,坩埚中事先装入 晶种,且使用钛酸镧晶体作为晶种,该晶种的截面积与所生长的晶体的截面 积之比为10%~100%;对整个系统升温并抽真空至10-2-10-4Pa,在炉温升至 1500-1700℃时充入惰性保护气体,继续升温至设定温度,所述设定温度在 1850-1950℃的范围内;
(3)调整坩埚在炉膛内的位置,使原料和晶种顶部熔化,实现接种生长, 晶体生长的固液界面温度梯度在20-80℃/cm的范围内,坩埚下降速率控制在 0.2-10mm/h之间;
(4)待晶体生长结束后,以30-120℃/h的速度将炉温降至室温,对所生 长的晶体进行退火处理。
2.按权利要求1所述的方法,其特征在于,所述坩埚的形状选自圆柱形、 或生长所需的多边柱形。
3.按权利要求1所述的方法,其特征在于,将步骤(3)中的所述晶体生长的 固液界面温度梯度设定在40-70℃/cm的范围内;和
坩埚下降速率控制在1.0-3.0mm/h之间。
4.按权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(4)中以40-80℃/h的降温速 度进行生长后的退火处理。
5.按权利要求1所述的方法,其特征在于,在晶体炉内安放多只坩埚,各 坩埚具有同等生长条件和工效,以实现一炉同时生长多根钛酸镧晶体。
6.按权利要求5所述的方法,其特征在于,在晶体炉内安放多只坩埚,各 坩埚具有同等生长条件和工效,以实现在同一生长炉内生长不同取向的钛酸镧 晶体。
7.按权利要求1所述的方法,其特征在于,所述晶种的取向是选自<001>、 <100>、<210>、<112>、<212>的生长方向。
8.按权利要求1所述的方法,其特征在于,所述原料La2O3的纯度在 99.999wt%以上,TiO2的纯度在99.9wt%以上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海晶生实业有限公司,未经上海晶生实业有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200710041328.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。