[发明专利]修正接触孔金属覆盖层布图设计的方法

权利要求书

1、一种修正通孔或者接触孔金属覆盖层布图设计的方法，其特征在于包括下列步骤：

a.利用公式：计算得到放大值，将接触孔层中的接触孔或通孔图案的每一边向外扩大所述放大值；

其中a表示金属关键尺寸变化值；b表示接触孔或通孔的关键尺寸变化值；c表示接触孔或通孔和金属线边缘之间误对准规格，这三个值为每个技术节点的每层工艺制作时所允许的误差；

b.将扩大后的接触孔或通孔图案和覆盖于其上的金属层图案进行“OR”的布尔逻辑运算，得到两层图案互补整合到一起的布图，作为金属层图案。

2、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的a、b、c值由实际的工艺过程中所允许的误差范围决定。

3、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括下列步骤：

c.以生成的金属层图案作为光学近似修正的目标，对此布图进行光学近似修正。

4、根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述的光学近似修正方法包括基于模型的光学近似修正，以及基于规则的光学近似修正。

5、根据权利要求3或4所述的方法，其特征在于，还包括下列步骤：

d.录制出经过光学近似修正的布图用于制作掩模，并将其用于制作金属覆盖接触孔或者通孔结构。